판매용 중고 SPEEDFAM 16B-5L #9276640

SPEEDFAM 16B-5L Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 정밀 웨이퍼 마무리를위한 완전 자동화 된 시스템입니다. 이 장치는 10 ~ 20 분의 주기 시간에 빠르고 정확한 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 수행 할 수 있습니다. SPEEDFAM 16B5L은 다양한 크기와 구성에서 3-up, 4-up 및 6-up 웨이퍼와 함께 작동하도록 설계되었으며 최대 공급 속도 (28-32 인치/초) 로 작동합니다. 이 기계는 또한 독점적 인 컴퓨터 제어 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 장착하여 완벽한 적용 범위, 철저한 청소 및 안전한 작동을 보장합니다. 16B-5L은 로봇 암, 다중 그라인딩 헤드, 휠 마운트, 랩핑 테이블, 폴리셔 및 CCD 카메라를 포함한 모든 자동 구성 요소로 구성됩니다. "로봇 '암 은 최대 5 개 의" 툴' 을 운반 할 뿐 아니라 "인덱싱 '을 할 수 있어서 연삭," 랩핑' 및 연마 작업 을 동시 에 수행 할 수 있어서 더 빠른 주기 와 더 높은 처리량 을 낼 수 있다. 그라인딩 헤드에는 선형 가이드, 크로스 피드 축 드라이브, 양면 스핀들 (spindle) 이 있어 정확도 및 다기능 작동이 향상되었습니다. 16B5L (16B5L) 에 특징 인 휠 마운트는 내구성이 뛰어난 알루미늄으로 만들어졌으며, 정밀 볼 베어링과 빠른 움직임을위한 동력 구동 및 피드 기능으로 구성됩니다. "랩핑 '표 는 속도, 진동, 후방 압력 을 조절 할 수 있고, 진동 격리 를 통해 효율성 과 정밀도 를 향상 시킨다. 이 도구 에 등장하는 "폴리셔 '들 은" 필름' 뿐 아니라 여러 가지 연마 천 으로 작동 할 수 있으며, "필름 '을 칠 수 있다. CCD 카메라를 사용하면 진행 중인 작업을 모니터링할 수 있고, 웨이퍼를 정확하게 완료할 수 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM 16B-5L Wafer Grinding, Lapping & Polishing Asset은 빠르고 정확하며 안정적인 웨이퍼 마무리를 위해 설계된 완전 자동화 모델입니다. 모든 구성 요소를 갖춘 SPEEDFAM 16B5L은 높은 생산성을 보장하며, 로봇 암, 여러 그라인딩 헤드, 휠 마운트, 랩핑 테이블, 폴리셔 및 CCD 카메라는 최적의 마무리를 보장합니다.