판매용 중고 SPEEDFAM 16B-5L #293797039

SPEEDFAM 16B-5L은 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 최대 8 "직경의 웨이퍼를 단일 웨이퍼 및 배치 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 32 위치 랩핑 헤드 (lapping head) 가 장착되어 있어 단일 사이클에서 최대 32 개의 웨이퍼를 랩핑 할 수 있습니다. 이 장치는 정확한 그라인드 (Grind) 및 랩핑 결과를 달성 할 수 있으며 대용량 생산 및 연구 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 기계는 연삭, 랩핑, 연마 스테이션 사이에서 수직으로 웨이퍼를 이동하도록 설계된 전송 로봇 (Transfer Robot) 을 포함합니다. "슬노치 벽 (slnotch wall) '과 함께 로봇은 갈기 단계와 광택 단계 사이의 입자의 교차 오염을 방지한다. 랩핑 헤드 (lapping head) 는 균일 한 표면 마무리를 제공하고 고급 그라인딩, 랩핑 및 연마를 통해 정확한 형상과 크기를 제공하도록 설계되었습니다. 정밀 공기 베어링 스핀들 (spindle) 은 웨이퍼를 일정한 속도로 회전시키는 데 사용됩니다. "스핀들 '은 진동 을 제거 하고" 와퍼' 가 연삭 과정 전체 에 걸쳐 동일 한 위치 를 유지 하도록 하는 힘 으로 매달려 있다. 이렇게 하면 점수 또는 웨이퍼에 대한 기타 손상 가능성을 최소화할 수 있습니다. SPEEDFAM 16B5L 도구는 또한 자산의 모든 기능을 제어 할 수있는 고속 온보드 컴퓨터를 포함합니다. 이 "컴퓨터 '는 기계 의 작동 을 모니터링 하고 제어 하는 데 사용 되는 특수" 소프트웨어' 로 계획 되어 있다. 16B-5L은 뛰어난 처리량 정확도, 반복성 및 표면 마무리를 제공합니다. 이 기계 는 반도체 산업 의 질 과 정확도 가 가장 높은 "웨이퍼 '를 생산 할 수 있다. 고속, 정밀 운영, 유연성으로 인해 연구 및 대용량 생산 애플리케이션에 이상적입니다.