판매용 중고 SPEEDFAM 16B-5L #293794262

SPEEDFAM 16B-5L은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 단일 작업에서 직경 5.2 인치까지 연삭, 랩핑, 연마 할 수 있습니다. 이 시스템에는 1 피스 구조의 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 가 있으며, 한 번에 최대 16 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 즉, 높이 조절 가능한 지그 플레이트 (jig plate) 를 사용하여 와퍼를 프로세스의 최적 레벨에 배치할 수 있습니다. 그라인딩 공정은 4 축 동작 컨트롤러로 제어되는 이중 휠 그라인딩 스핀들 (spindle) 로 수행됩니다. 이렇게 하면 그라인딩 프로세스 (grinding process) 와 부드러운 서피스 마무리 (finish) 를 제어하는 정확한 방법이 제공됩니다. 랩 휠은 단일 레이어 및 다중 레이어 그라인딩 작업을 모두 허용하도록 조정 할 수 있습니다. 랩핑 프로세스는 2 단계 프로세스로 구성됩니다. 첫째, 웨이퍼는 고정 랩 휠과 회전 컵 휠을 사용하여 랩됩니다. 그러면 평면 서피스가 생성됩니다. 그런 다음, 회전 랩 휠 (rotating lap wheel) 과 고정 컵 휠 (stationary cup wheel) 을 사용하여 균일 함을 달성합니다. SPEEDFAM 16B5L에서는 중첩 및 하이퍼 랩 프로세스도 가능합니다. 연마 과정은 DC 모터로 구동되는 연마 테이블을 사용합니다. 텀블링 테이블 (tumbling table) 은 연마 된 표면을 웨이퍼에 넣는 데 도움이되는 다이아몬드 슬러리를 사용합니다. 연마 과정은 입자 측정 단위로 모니터링되어 최적의 연마 매개변수를 보장합니다. 16B-5L 기계에는 슬러지 수집 탱크 (sludge collection tank), 냉각수 여과 도구, 자동 작동 및 여러 안전 기능과 같은 여러 가지 추가 기능도 포함되어 있습니다. 16B5L은 연삭, 랩핑 및 연마 웨이퍼를위한 안정적이고 효율적인 자산입니다. 고급 기능은 정확성, 효율성, 반복성을 보장하며, 작은 공간에서는 크기가 작습니다. 다양하고 효율적인 설계로 SPEEDFAM 16B-5L은 모든 반도체 산업 응용에 이상적인 모델입니다.