판매용 중고 SPEEDFAM 15B-5P #9208821

SPEEDFAM 15B-5P는 매우 정확하고 합의 적으로 미세한 마감 처리를 만들 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 화학 기계 연마 (CMP) 도구이며 반도체, MEMS 및 기타 관련 응용 프로그램을위한 연삭, 랩핑 및 연마 웨이퍼에 이상적입니다. 이 장치는 플래튼 (platen) 과 로봇 (robot) 과 함께 회전 제어 헤드를 사용하여 그라인딩 프로세스를 조정하고 특정 응용 프로그램에 맞게 최적화합니다. 15B-5P 모델의 정밀도는 ± 2äm 인 선형 축을 갖는 반면, 반복성은 ± 1äm입니다. 또한 X (수평) 및 Y (수직) 축 모두에서 + -0.5äm의 반복 가능성을 갖습니다. SPEEDFAM 15B-5P는 직경이 15 인치, 깊이가 5 인치 인 작업 영역을 가지고 있습니다. 이 모델에는 다양한 모션과 최대 500 RPM의 회전 제어 헤드 (rotating control head) 가 있으며, 부드럽고 쉬운 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마가 가능합니다. 또한 15B-5P에는 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 다양한 그라인딩 스톤, 마모제 및 연마 미디어가 있습니다. SPEEDFAM 15B-5P는 여러 가지 다른 기능도 제공합니다. 여기에는 자동 로드, 언로드 및 로드 전송, 자동 연삭 및 연마 제어 기계, 먼지 감소 도구, 통합 열 교환기 자산이 포함됩니다. 또한 자가 진단 운영자 인터페이스 (self-diagnostic operator interface), 안전 연동 모델 (safety interlock model) 및 기타 여러 안전 기능이 있어 모든 작업이 최소한의 위험으로 안전하고 정확하게 수행되도록 보장합니다. 15B-5P는 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 를 위한 시장을 선도하는 제품으로, 고성능, 효율성, 신뢰성 있는 장비를 필요로 하는 제조업체 및 전문 사용자에게 적합합니다. 이 기계는 다양한 마무리, 복잡한 지형 뿐만 아니라 반복 가능하고 만족스러운 결과를 제공 할 수 있습니다.