판매용 중고 SPEEDFAM 12B-8P III #293626845
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ID: 293626845
빈티지: 1996
Double-sided polisher machine
2-Motor
Direct read
Plate
Sun gear
Internal gear
SUS
1996 vintage.
SPEEDFAM 12B-8P III (SPEEDFAM 12B-8P III) 는 다양한 단단하고 부서지기 쉬운 재료에서 뛰어난 표면 마무리 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 반도체 생산 시설에서 높은 정밀도, 신속하고 정확하게 적용 할 수있는 평면 (planar) 및 비 평면 (non-planar) 표면을 연마 할 수 있습니다. 이 장치는 12 개의 연삭 및 연마 헤드, 8 개의 연마 헤드, 웨이퍼 사료 트레이, 연마 패드 및 연마 작업을위한 구조화 된 플래튼으로 구성됩니다. 조정 가능한 수압과 유속 (flow rate) 으로 다이아몬드 연마 슬러리 또는 유체를 연마할 수 있습니다. 또한 연삭 작업에 유연한 종이 테이프를 사용할 수 있습니다. 이 기계는 견고한 프레임 주위에 설계되었으며 자동 스핀들 제어 도구 (spindle control tool), 정밀 선형 모터 및 인코더 (incoder) 및 작동 중 진동을 최소화하는 단단한 구조가 특징입니다. 모터 (motor) 와 인코더 (encoder) 는 매우 정확한 이송 속도 제어를 제공하여 일관성을 희생하지 않고 표면 마무리에서 더 세밀한 조정이 가능합니다. 또한 고해상도 터치스크린 컨트롤 에셋 (touchscreen control asset) 을 통해 모델의 설정과 작동을 단순화하고 능률화합니다. SPEEDFAM 12B-8P-III (SPEEDFAM 12B-8P-III) 는 또한 고급 안전 연동 장비를 갖추고 있으며, 필요에 따라 즉시 작동을 중단하여 운영자와 웨이퍼의 안전을 보장합니다. 또한 물, 연마 입자를위한 강력한 재순환 시스템이 포함되어 있어 환경 영향을 최소화하고 유지 보수 비용을 줄입니다. 전반적으로, 12B-8P III는 모든 종류의 단단하고 부서지기 쉬운 재료에 대해 우수한 표면 마무리 결과를 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 장치입니다. 또한 높은 수준의 운영자 안전, 편리한 설치/운영, 최소한의 환경 영향을 제공합니다.
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