판매용 중고 SPEEDFAM 12B-6P #9073042

ID: 9073042
빈티지: 1995
System Convertible 1995 vintage.
SPEEDFAM 12B-6P는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이를 통해 사용자는 직경이 최대 8 인치 인 반도체 웨이퍼를 빠르게 갈고, 랩하고, 연마 할 수 있습니다. 이 시스템은 장치 연삭, 전력 장치 연삭, 배수 사이드 월 연삭, 게이트-산화물 연삭, 플라나 라이징 게이트 전극, 거친 연마, 산화물 장벽, 연마 마감, MEMS 연마 및 기타 정밀 응용을 포함한 11 가지 응용 분야에 적합합니다. 이 장치에는 6 인치 정밀 척 및 6HP 통합 터빈 모터가 장착 된 통합 12 인치 더블 암 스핀들 모터가 포함되어 있습니다. 또한 한 쌍의 정밀 베어링 장착 연삭/연마 디스크, 고품질 표준 다이아몬드 화합물, 3 축 공기 부동 테이블 세트 및 다양한 샘플 홀더, 모란 및 공압 공기 압력 제어. 이 기계는 뛰어난 연삭 및 연마 성능을 제공하며, 가벼운 터치와 훌륭한 표면 마무리를 보여줍니다. 이것은 더블 암 스핀들 모터 (double-arm spindle motor) 와 단단하고 고정밀 (high-precision chuck) 을 사용하여 달성되며, 무시할 수있는 진동으로 매우 매끄러운 작동을 제공합니다. 정밀도 향상을 위해, 연삭/연마 디스크와 척은 정밀하게 가공되고 제조 과정에서 단단히 제어됩니다. 통합 터빈 모터는 재료를 정확하게 제거하기위한 뛰어난 전력을 제공합니다. 공기 부동 테이블 (Air floating table) 은 샘플과 연삭/연마 디스크 사이의 총 접촉을 제공하여, 공수 오염을 제거하기 위해 결과의 반복성과 청소 부위의 인감을 보장합니다. 또한, SPEEDFAM 잘 설계된 샘플 홀더를 사용하면 가공소재를 정확하게 배치하고, 항상 구분 (Polishing out of Specific) 의 기회를 최소화할 수 있습니다. 이 도구는 또한 사용하기 쉬운 다양한 제어 기능으로, 자산을 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, 12B-6P는 가장 작고 경제적인 방식으로 다양한 작업을 완료할 수 있도록 사용자에게 가장 유연성을 제공하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 (lapping) 모델입니다. 더블 암 스핀들 모터 (double-arm spindle motor), 고품질 표준 다이아몬드 화합물, 공기 부동 테이블 (air floating table) 및 다양한 샘플 홀더 (sample holder) 를 포함한 다양한 기능을 통해 장비는 뛰어난 표면 마무리 및 결과의 반복성을 달성 할 수 있으며 전문가와 취미 인 모두에게 이상적인 도구입니다.
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