판매용 중고 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9353060

SPEEDFAM 10.5B-5L-V는 반도체 웨이퍼에서 초 평면 표면을 생산하도록 설계된 단일 패스 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계는 도핑 (doped) 및 도핑되지 않은 (undoped) 재료 모두에서 필요한 고품질 마무리를 생성하기 위해 고유한 구성 요소와 기능을 조합하여 제공합니다. 이 모델은 자동 (automated) 컨트롤과 견고한 설계를 통해 완벽한 순환 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 기능을 통해 높은 정확도와 제어를 제공하여 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 기계 의 연삭 및 "랩핑 '구성 요소 는 효율적 이고 믿을 만한" 드라이브' 시스템 으로 구동 된다. 이 장치에는 고사양 VFD 모터 컨트롤러 (VFD Motor Controller) 가 장착되어 있어 속도 및 이송 속도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 특수 냉각 장치 (special cooling unit) 를 사용하면 시스템이 고정 온도에서 작동하여 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 몇 가지 고급 기능이있는 연삭, 랩핑 및 연마 기술의 최신 발전을 포함합니다. 기계는 고급 연삭 단계 (advanced grinding stage) 를 사용하여 표면 불완전성을 제거하고 균일 한 표면 마무리를 제공합니다. "스테이지 '에는 무거운 압력 으로" 기판' 에 강제적 인 연마 물질 과 표면 의 불완전성 을 내려다볼 위험성 을 제거 하는 "벡터 '설계 가 있다. 이 단계는 또한 원하는 마무리 수준을 달성하기 위해 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 작업과 결합됩니다. 랩핑 (lapping) 프로세스에는 원하는 서피스 마무리 (surface finish) 가 달성 될 때까지 기판 위의 원형 동작으로 실행되는 특수 연마 재료를 사용하는 것이 포함됩니다. 이 과정 은 기계 의 회전식 "랩핑 휠 '에 의하여 촉진 되는데, 이" 랩 휠' 은 고르게 일관성 있는 광택 을 만들어 낸다. 또한, 랩핑 프로세스는 일관된 표면 마무리를 보장하는 정밀 다이아몬드 블레이드 (precision diamond blade) 에 의해 종료되어 불완전성을 제거합니다. 기계 의 연마 단계 는 더 세밀 한 "피니시 '를 생산 할 수 있다. 이것은 특별히 설계된 연마 패드와 다이아몬드 팁 블레이드를 사용하여 달성됩니다. 이러한 구성 요소는 함께 작동하여 가능한 최고 품질의 결과를 제공합니다. 기판 표면에서 오염 물질을 제거하기위한 특수 스크러버 도구도 포함됩니다. 마지막으로 SPEEDFAM 10.5B-5L-V Wafer Grinding, Lapping 및 Polishing Asset은 사용하기 쉬운 운영자 인터페이스와 통합됩니다. 이 인터페이스를 사용하면 시스템의 설정을 사용자 정의하고 모니터링하여 최적의 제품 품질 (product quality) 을 보장할 수 있습니다. 이 모델은 또한 완전한 생산 추적 능력을 제공하여 모든 작업을 정확하게 추적 할 수 있습니다. 결론적으로 SPEEDFAM 10.5B-5L-V는 강력하고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 모델에는 다양한 고급 (Advanced) 기능이 장착되어 있어 최상의 품질의 결과를 보장합니다. 또한 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 는 유지 관리가 적고 직관적인 사용자 제어 기능을 제공하여 운영 주기 시간을 최소화합니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 뛰어난 와퍼 처리 시스템 (Traceability and Productivity) 을 제공합니다.