판매용 중고 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9237028

SPEEDFAM 10.5B-5L-V는 고급 흉터가없는 미세 평면 머시닝을 완성하기 위해 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 냉각 시스템, 광범위한 다이아몬드 슬러리 (diamond slurry) 연마 기능을 갖추고 있으며 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼를 연마 및 연마 할 수 있습니다. 10.5B-5L-V 는 4축 모션 컨트롤 머신 (motion control machine) 을 갖춘 더블 디스크 유닛으로, 다양한 특수 서피스 마무리를 달성하는 데 필요한 정밀 제어를 지원합니다. 이 도구는 최대 5 개의 연마식 연삭/연마 디스크를 지원할 수 있으며, 각 디스크는 속도, 너비, 각도에 맞게 조정할 수 있으며, 각 응용 프로그램에 대해 사용자정의된 프로세스를 사용할 수 있습니다. 헤드 피드는 고정밀 반복 가능한 동작을 보장하는 정밀 선형 피드 에셋에 의해 구동됩니다. 이 기계는 또한 잔해가 작업 표면을 오염시키는 것을 방지하기 위해 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 갖추고 있습니다. SPEEDFAM 웨이퍼 그라인딩 모델 (SPEEDFAM Wafer Grinding Model) 은 안전성을 높이고 깨끗하고 먼지가 없는 환경을 제공하기 위해 완전히 밀폐된 캐비닛을 갖추고 있습니다. 이 장비에는 일련의 압력 조절기 (pressure regulator), 흐름 센서 (flow sensor) 및 인라인 여과기 (in-line filtration) 가 장착되어 있어 압력과 부피의 올바른 조합이 연삭/연마 디스크에 일관되게 공급되므로 고품질의 반복 가능한 결과가 나타납니다. 이 시스템에는 프로세스 검증 (process validation) 기능도 포함되어 있어 운영 환경에 적합합니다. 강력한 데이터 로깅 (Robust Data Logging) 을 통해 각 그라인딩 (Grinding) 또는 연마 주기 (Polishing Cycle) 에 대한 상세한 기록과 도중에 수행되는 변경 및 조정 작업을 관리할 수 있는 중앙 단위를 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 공구 웨어 보상 (Automatic Tool Wear Compensation) 및 연삭 속도 제어 (Grinding Speed Control) 가 포함되어 있으므로 사용자가 정확한 반복 가능한 결과 시간과 시간을 다시 달성 할 수 있습니다. SPEEDFAM 10.5B-5L-V는 가장 까다로운 어플리케이션에서 탁월한 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 반도체, 광자 부품, 또는 고급 재료에 대해 작업하고 있든, 10.5B-5L-V는 까다로운 표면 마무리에 대해 최고 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다.