판매용 중고 SIM RRF / 660 #9066958

SIM RRF/660 (SIM RRF/660) 은 웨이퍼와 기판의 정밀 머시닝을 위해 고성능, 자동 작동을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 3 개의 독립적 인 연삭/랩/연마 헤드가 장착되어 생산성 향상 및 사이클 시간 감소가 가능합니다. 또한 이 시스템은 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제공하여 사용자에게 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. RRF/660은 정확도가 높고, 효율적인 방식으로 기판을 갈아 넣고, 랩하고, 연마하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 진공 밀봉 챔버 및 고정밀 스핀들 외에도 통합 된 Siemens Sinumerik 840D 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 진공 밀봉 챔버는 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 가능하게하며, 높은 품질의 결과를 보장합니다. 고정밀 스핀들 (spindle) 은 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 결과를 보장하므로 고품질 반도체 응용 분야에 적합합니다. SIM RRF/660은 다양한 자동 기능을 자랑합니다. 예를 들어, 로더 (loader) 와 언로더 (unloader) 를 통합하면 다양한 기판과 웨이퍼를 효율적으로 사용자 정의 로딩하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 이 머신은 정밀도 향상을 위한 완전한 정렬 기능 (full alignment features) 과 쉽게 작업할 수 있도록 인덱서 및 프로세스 추적 (process tracking) 을 제공합니다. RRF/660은 또한 광범위한 웨이퍼 및 기판 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이러한 프로세스에는 웨이퍼 그라인드, 랩 및 광택, 표면 프로파일 링 및 화학 기계 연소가 포함됩니다. 또한, 이 도구에는 빔 감소 (옵션) 및 클리닝 모듈 (Cleaning Module) 이 장착되어 있어 프로세스 정밀도를 높이고 자산 중단 시간을 줄일 수 있습니다.