판매용 중고 SHUWA SW-08 #9258272
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ID: 9258272
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2014
Lapper, 4"
SiC and GaN
Air pressure: 0.5 MPa
Accessories
Manuals
Chiller
Power supply: 200 V, 15 A, 3-Phase
2014 vintage.
SHUWA SW-08 (SHUWA SW-08) 은 정밀도가 높은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로 정확도가 향상되어 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 반도체 처리를 위한 미세 구조 조정, 연마, 평탄도 제어 등 다양한 응용프로그램을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. SW-08은 트윈, 진공 보조, 캐스트 알루미늄 스핀들로 구성되며, 최대 5,000 RPM의 속도로 작동 할 수 있습니다. 스핀들은 조정 가능한 드라이브 속도로 자동 공급 테이블에 연결됩니다. 이송 테이블은 균일성을 달성하기 위해 웨이퍼를 세로 방향 또는 회전 x, y, z 방향으로 이동하도록 설계되었습니다. 피드 테이블에는 우수한 진동 격리 제어 (vbration isolation control) 가 있어 저소음 작동에 적합합니다. 또한 SHUWA SW-08에는 두 개의 프로그래밍 가능한 주파수 (frequency) 높이 모니터가 있으며, 이를 통해 피드 테이블의 웨이퍼 높이를 정확하게 조정할 수 있습니다. SW-08은 또한 2 단계 랩핑 메커니즘을 특징으로하며, 여기서 1 단계는 거친 랩핑, 테이프 스트리핑, 산화물 제거와 같은 사전 그라인딩 작업을 위해 설계되었습니다. 이어 2 단계 마무리 랩 (finish-lap) 이 이어지며, 여기서 웨이퍼는 연마력이 낮은 더 정확한 마무리 패스를 받는다. SHUWA SW-08은 또한 2 개의 연마 휠로 구성된 3 중 연마 시스템을 사용합니다. 단일 트랙 다중 처리 장치 (single-track multi-processed device) 를 통해 표면의 거칠음을 감지하고 그에 따라 연마 속도를 조정할 수 있습니다. 또한 SW-08은 자동 액체 제어 장치 (타이머 및 최대 2000 사이클의 프로세스 종료 신호) 를 갖추고 있습니다. 마지막으로, SHUWA SW-08은 최적의 결과를 얻을 수 있도록 프로브 레벨 모니터링을 지원하는 카메라가 장착 된 통합 비전 머신 (Integrated Vision Machine) 을 갖추고 있습니다. 요약하면, SW-08은 최첨단, 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 공구로, 탁월한 정확도와 정확도로 다양한 어플리케이션을 충족하도록 설계되었습니다. 2 단계 랩핑 메커니즘, 3 중 연마 에셋, 자동 피드 테이블, 통합 비전 모델과 같은 기능은 모든 정밀 연삭 및 연마 응용 프로그램에 적합한 선택 사항입니다.
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