판매용 중고 SECULAR XJ-36 #9280303

ID: 9280303
빈티지: 2003
Single side polishing machines 2003 vintage.
SECULAR XJ-36은 연구 및 생산 응용 분야를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 최고의 랩핑 및 연마 결과를 얻기 위해 수직 (vertical) 과 방사형 (radial) 방향을 요구하는 박막 프로세스에 이상적입니다. 여러 기울기 각도 (tilting angle chuck) 를 사용하면 웨이퍼에 재료를 쉽게 적재하고 칩을 적재하여 생산성과 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치는 복잡한 형태 복잡한 부품을 제작하는 데 사용될 수도 있으며, 이는 다양한 연구 응용 프로그램 (research application) 에 적합합니다. XJ-36 그라인딩 머신은 2 개의 웨이퍼 캐리어로 구성되며, 스핀들 드라이브 모터와 그라인딩 스핀들이 장착되어 있습니다. 이 도구는 가장 튼튼한 재료에서도 정확하고 반복 가능한 그라인딩을 위해 설계되었으며, 사용자가 구성 요소를 정확하게 형성하고 형상화할 수 있도록 합니다. 또한 포괄적인 프로세스 제어, 프로그래밍, 데이터 캡처, 분석 기능을 제공하는 완전 통합형 디지털 제어 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 Digital Manager는 사용이 간편한 직관적인 작업 기능을 사용자에게 제공하도록 특별히 설계되었습니다. SECULAR XJ-36의 연삭 및 연마 시스템은 다이 보드 취급을위한 로봇 암 (robotic arm), 다이 픽 (die pick) 및 원래 캐리어로 다시 배치 할 수있는 로봇 암 (robotic arm) 및 이중 랩핑 플레이트를 갖추고 있습니다. 이 다기능 로봇 자산은 프로세스 제어 및 최적화를 위한 최고의 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 XJ-36 에는 완전하게 자동화된 웨이퍼 로드/언로드 (Unload) 모델이 포함되어 있어 프로세스 유연성과 세분화가 더욱 용이합니다. 이 장비에는 정확한 에지 컨트롤, 에지 디버링, 웨이퍼 기판 얇아짐, 에지 모따기를위한 웨이퍼 에지 탐지 로봇도 포함되어 있습니다. SECULAR XJ-36에는 스톤 선택, 프로그램 저장, 매개변수 설정 및 스톤 관리 기능이 있는 사용자 친화적 인 운영자 인터페이스가 있습니다. 자동 시각 인식 시스템 (Automatic Vision Recognition System) 을 사용하여 처리 전과 후에 웨이퍼의 서피스, 모서리, 두께, 반지름을 쉽게 검사할 수 있습니다. 이 단위는 또한 각 샘플에 대한 정확한 프로세스 데이터를 추적 (Tracking) 및 기록 (Recording) 할 수 있으며, 전체 프로세스가 완료된 후 쉽게 분석 할 수 있습니다. 또한 XJ-36 은 내장형 고주파 (High-Frequency) 난방 시설을 갖추고 있어 가동 중지 시간 없이 웨이퍼 온도를 조정할 수 있습니다. 또한 냉각 장치 (Cooling Machine) 를 제공하여 프로세스 시간을 줄이고 최상의 품질을 얻을 수 있습니다. 이 도구 는 지표 청소 를 증가 시키는 데 도움 이 되는 "그라인딩 '에셋 과 결합 하여 작용 하는 진공" 척' 으로 더욱 설계 되었다. 마지막으로, 이 그라인딩 모델에는 MEMS, 고급 반도체 및 광자 (photonics) 와 같은 고급 응용 분야에 이상적인 나노 입자 그라인딩 휠이 장착되어 있습니다.
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