판매용 중고 SEC GCM-650B #9399476

ID: 9399476
빈티지: 2003
Polisher 2003 vintage.
SEC GCM-650B는 기판의 정확하고 균일 한 두께와 평평함을 생산하도록 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 기계는 수치 제어 장비, 내장 측정 시스템, 정밀한 프로세스와 우수한 결과를 보장하는 자동 스태킹 및 클램핑 (clamping) 을 갖추고 있습니다. 이 장치는 손잡이를 사용하거나 사용하지 않고 직경이 최대 6 "인 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 그라인딩 및 랩핑 프로세스는 서피스와 서브서페이스 (subsurface) 를 모두 고르게 마무리 (높은 표면 품질 결과) 합니다. 피드 테이블 (feed table) 과 회전 테이블 속도 (rotational table speed) 의 조정 가능한 이송 속도를 통해 정밀 연삭 및 연마가 가능합니다. 프로세스는 스택에서 웨이퍼를 가져오는 피드 테이블로 시작합니다. 그런 다음 이송 테이블은 웨이퍼를 회전 테이블로 전송합니다. 연마 "디스크 '형태 의 연마 매체 는 회전" 테이블' 위 에 놓인다. 그런 다음 "웨이퍼 '는 연삭 과" 랩핑' 과정 이 시작 되기 전 에 상응 하는 절단 압력 과 회전 속도 로 설정 된다. 절단 압력은 수치 제어기에서 조정 및 모니터링 할 수 있습니다. 그라인딩 (grinding) 랩핑이 수행되면 연마 미디어가 천천히 제거되고 회전 (rotational) 테이블에 새로운 미디어 조각이 배치됩니다. 원하는 두께가 달성될 때까지 전체 프로세스가 반복됩니다. GCM-650B (Integrated Digital Thickness Control Tool) 는 공정 중에 기판의 두께, 평면도, 크기를 지속적으로 모니터링하는 측정 자산 인 통합 디지털 두께 제어 도구를 사용하여 결과를 측정합니다. 각 얇은 단계 (thinning step) 가 끝나면 측정이 이루어지고 실제 두께와 대상 두께 (target thickness) 의 차이가 보고됩니다. 부정확성을 찾으면 정제 반복으로 수정할 수 있습니다. 완료되면 부품이 회전 테이블에서 제거되어 배출 테이블 (discharge table) 로 이동합니다. 그런 다음, 추가 처리, 포장 또는 배송을 위해 컬렉션 저장소에 부품을 배치할 수 있습니다. SEC GCM-650B 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 (polishing machine) 는 기판의 두께와 평평함을 균일하게 얻기 위해 우수한 결과를 제공하는 자동화되고 정밀한 모델입니다. 이 장비를 사용하면 수치 제어 시스템, 측정 단위 (measuring unit), 자동 스태킹 및 클램핑 (clamping) 에 의해 제어되는 동안 고품질의 정확한 부품을 생산할 수 있습니다. 이 기계는 통신, 전자, 광전자 및 바이오 의료 회사를 포함한 다양한 산업에 적합합니다.
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