판매용 중고 SCHNEIDER SLG 120-S2/2 #9296816

ID: 9296816
CNC Digital machine 2000 vintage.
SCHNEIDER SLG 120-S2/2는 대형 실리콘 또는 비 실리콘 기판에 증착 된 대부분의 재료를 위해 설계된 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 높은 정확도를 제공하는 최신 자동 블레이드 포지셔너 (Automatic Blade Positioner) 와 빠르고 정밀한 연삭 및 랩핑 주기를 위한 특허를 획득한 IFP 기술을 갖추고 있습니다. 또한 기존의 선명화 (sharpening) 및 마무리 (finishing) 작업을 하나의 견고한 단위로 결합할 수 있습니다. SLG 120-S2/2는 시간당 최대 500 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 자동 기계입니다. 수직 테이퍼 그라인딩 (vertical taper grinding) 을 특징으로하여 추가 그라인딩 단계가 필요하지 않으며 최대 200 rpm까지 연삭 속도가 있습니다. 고정밀 그라인딩을 제공하는 것과 함께, 정확한 표면 마무리를 달성하기 위해 정확한 랩핑 및 연마 매개변수를 제공합니다. 이 도구에는 안전한 웨이퍼 처리 및 로드 프로세스를 제공하는 로봇 (robotic wafer) 핸드 오프 (hand-off) 에셋과 정확한 서피스 마무리 결과를 보장하는 자동 웨이퍼 방향 (automated wafer orientation) 이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 수동 재배치 없이 다양한 작업에 액세스 할 수있는 자동 설정 (automated setup) 기술이 있습니다. 이 장비는 대용량 및 대용량 실리콘 및 비 실리콘 웨이퍼 기판에 사용하도록 설계되었습니다. 또한 SLG 120-S2/2에는 다양한 표준 기능이 있습니다. 여기에는 다양한 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 또는 연마 (polishing) 프로세스에 대한 모든 사전 설정 데이터와 매개변수를 기록하고 저장하는 통합 프로세스 컨트롤러가 있습니다. 또한 고해상도 광학 현미경 (Optical Microscope) 을 포함하여 실시간 이미지 분석이 가능하며, 표면의 정확한 광학 측정 및 평가, 샘플 및 작업 조각의 가장자리 등이 있습니다. SLG 120-S2/2는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 반도체 산업의 고정밀 요구 사항을 충족하도록 설계 및 테스트되었습니다. 자동화되고 정밀한 매개변수와 제어 솔루션을 제공하여 대부분의 웨이퍼 (wafer) 처리 요구 사항을 충족하는 한편, 높은 정확도 결과를 얻을 수 있으며, 안전하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리 프로세스를 제공합니다.
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