판매용 중고 SATISLOH Duo-Flex #9411240
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SATISLOH Duo-Flex는 더 높은 처리량, 정확성 및 일관된 결과에서 생산할 수 있도록 설계된 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 독립적 인 그라인딩 트랙을 사용하며, 이는 동반 또는 연속으로 작동 할 수 있습니다. 듀오 플렉스 (Duo-Flex) 는 고속 및 낮은 분산 배출에서 작동하여 최대 200mm (8 인치) 직경의 웨이퍼를 부드럽고 지속적으로 처리 할 수 있습니다. SATISLOH 듀오-플렉스 (SATISLOH Duo-Flex) 의 동작 제어 장치는 정밀한 매개변수를 제공하여 쉽게 설정하고 조정하여 다양한 수준의 경도의 재료를 자동으로 처리 할 수 있습니다. Duo-Flex는 단일 또는 다중 단계 모드에서 웨이퍼를 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. 단일 단계 (single-step) 모드에서 플레이크는 하나의 단일 가공 패스에서 제거되고, 다중 단계 (multiple-step) 모드는 서피스 준비에서 더 큰 정밀도를 제공합니다. 이 모드에서, 연삭, 랩핑 및/또는 연마 과정은 다른 연마제 또는 화합물을 사용하여 2 단계 이상으로 나뉩니다. 이 기계는 비정질 다이아몬드, 다이아몬드로 채워진 수지, CMC 또는 세라믹 기반 연마 화합물을 포함하여 다양한 유형의 그라인딩 휠 및 연마 재료를 수용합니다. 이렇게 하면 용도 (application) 및 공차 (tolerance) 요구 사항에 따라 웨이퍼를 서로 다른 수준의 표면 거칠기 (roughness) 및 거칠기 (roughness) 평균으로 연마 할 수 있습니다. 연마 및 연마 재료는 연관된 매개변수의 모니터링을 통해 수동으로, 또는 자동으로 쉽게 변경할 수 있습니다. SATISLOH Duo-Flex는 또한 다이아몬드 투여 도구와 진공 스테이션을 포함하는 미세 조정 메커니즘을 제공합니다. "다이아몬드 '의 투여" 에셋' 은 물질 특유 의 "웨이퍼 '에 정확 한 양 의" 다이아몬드' 화합물 을 분배 하는 반면, 진공 발전소 는 "다이아몬드 '를 쉽게 청소 하고 유지 할 수 있도록 잉여 재료 를 제거 한다. 또한 Duo-Flex에는 검사 스테이션이 있습니다. 이 스테이션은 처리된 웨이퍼 이미지를 스캔하고 지형과 서피스 상태를 모두 평가합니다. 이 피드백을 통해 연산자는 현장 (on-the-spot) 에서 필요한 매개 변수 (parameter) 를 수정하여 반복 프로세스에서 이상적인 조건을 복제할 수 있습니다. 결론적으로 SATISLOH Duo-Flex는 강력하고 유능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 고속, 정밀 제어 및 유연성을 통해 높은 처리량, 세밀한 튜닝 기능 및 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.
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