판매용 중고 SATISLOH Duo-Flex #9394939

ID: 9394939
Polisher Power: 200-480 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 8 kW, 16 A Breaker 2012-2014 vintage.
SATISLOH Duo-Flex는 SATISLOH의 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 듀얼 스핀들 (dual spindle) 디자인과 두 개의 개별 그라인더를 사용하여 한 번에 여러 웨이퍼에서 작동 할 수 있습니다. "웨이퍼 '를 여러 방향 으로 돌리고 속도 를 조정 하여" 웨이퍼' 처리 를 매우 효율적 으로 한다. 우선, "웨이퍼 '는 상단 과 하단" 클램프' 가 있는 연삭실 에 적재 된다. 그라인딩 챔버 (grinding chamber) 는 높이와 폭을 자동으로 조정하여 웨이퍼의 적합성을 보장합니다. 그런 다음, "보정 롤러 '를 사용 하여 연삭" 와퍼' 의 적절 한 방향 을 결정 하여 균일 한 연삭 에 대한 압력 을 가한다. 그런 다음이 프로세스는 몇 가지 고유 한 기술을 사용하여 정확하고 효과적인 연삭을 보장합니다. 이 중 첫 번째는 듀오 플렉스 (Duo-Flex) 공정으로, 두 개의 반회전 그라인딩 표면을 결합하고 동시에 랩핑 및 연마가 매우 정확합니다. 특허를받은 "이소 폴라 (Isopolar)" 연삭 공정은 웨이퍼 품질을 더욱 향상시켜 전기적으로 반대되는 두 개의 디스크를 사용하여 정적 충전 및 에지 반올림을 제거합니다. 마지막으로, 이 장치에는 특허를받은 "지능형 평면 탐지 (Intelligent Plane Detection)" 머신이 포함되어 있습니다. 이 머신은 연삭 중에 웨이퍼의 표면을 모니터링하고 정확한 마무리를 위해 연삭 휠을 자동으로 조정합니다. 이 프로세스를 통해 처리량을 높이고 완료된 제품의 불완전성을 줄일 수 있습니다 (영문). SATISLOH 듀오 플렉스 (SATISLOH Duo-Flex) 는 광범위한 산업에서 작동하도록 설계되었으며, 정확하게 가공된 표면으로 웨이퍼 (wafer) 를 생산하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 기계를 제공합니다. 듀오 플렉스 (Duo-Flex) 는 듀얼 스핀들 디자인과 고급 기능의 조합으로, 표면 마무리를 0.2 µm까지 빠르게 달성하는 매우 효율적인 방법입니다.
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