판매용 중고 SATISLOH Duo-Flex #293588017
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SATISLOH Duo-Flex 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 모든 반도체 생산 시설에 필수적인 도구입니다. 이 시스템은 실리콘, 쿼츠, 자기 재료, 기타 이국적인 기판을 포함한 다양한 유형의 재료를 처리 할 수 있습니다. 다목적 설계를 통해 듀오 플렉스 (Duo-Flex) 는 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 매개변수를 높은 수준의 정확도로 제어 할 수 있으며, 이를 통해 고객은 뛰어난 생산 수익률과 일관된 제품 품질을 얻을 수 있습니다. 장치는 여러 개의 모듈로 구성됩니다. 그라인딩 모듈은 2 개의 독립적 인 고출력 그라인딩 모터 (grinding motor) 로 구성되며, 서로 다른 연마 특성을 가진 다양한 재료를 처리하도록 구성 될 수 있습니다. 또한, 별도의 습식 처리 스테이션을 사용할 수 있으며, 효율적이고 반복 가능한 표면 제형 프로세스를 제공합니다. 랩핑 모듈에는 두 개의 비접촉식 (non-contact) 스윙 타입 (swing-type) 랩핑 모듈이 장착되어 있으며, 제어 속도와 거리로 재료를 처리하여 높은 수준의 표면 정확도와 마무리를 제공합니다. 연마 모듈 (polishing module) 은 연마 매개변수를 쉽고 정확하게 제어하여 매우 균일 한 연마 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모듈에는 다양한 연마 프로세스에 대한 가변 속도 (variable speed) 와 여러 스핀들 (spindle) 구성의 고출력 모터가 포함되어 있습니다. 또한 유연한 프로세스 레시피 스토리지 (process recipe storage) 와 검색 머신 (retrieval machine) 을 통해 쉽게 설치하고 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 SATISLOH Duo-Flex 에는 직관적인 사용자 인터페이스, 실시간 프로세스 모니터 (Real-Time Process Monitor), 진단 도구 (Diagnostic Tool) 등 다양한 제어 시스템이 장착되어 있어, 엔지니어가 처리 중에 발생할 수 있는 문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 또한, 비상 정지 자산 (Emergency Stop Asset) 및 조작자 피로를 줄이기 위한 인체 공학 디자인 (Ergonomic Design) 과 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. Duo-Flex는 모든 반도체 생산 시설에 적합한 연삭, 랩핑 및 연마 모델입니다. 정확하고 신뢰할 수 있는 성능으로, 매우 적은 노력으로 얻을 수있는 일관된 고품질 (High-Quality) 결과를 보장합니다.
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