판매용 중고 SATISLOH Auto-Flex #293637320
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SATISLOH Auto-Flex (SATISLOH Auto-Flex) 는 실리콘 웨이퍼의 최고 수준의 표면 평면성과 평면 화를 달성하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 랩핑 (lapping) 및 광택 (polishing) 공정에서 가공되는 동안 웨이퍼의 회전 속도와 궤도 동작을 정확하게 제어하는 고정밀, 이중 축 동작 단위 (high-precision, dual-axis motion unit) 를 갖추고 있습니다. 고주파수 (high-frequency) 기능과 복잡한 서피스 지형에서도 결과 평탄도와 평면도는 예외적입니다. Auto-Flex는 매우 얇은 특수 웨이퍼를 가공할 때 특허를받은 평평한 보상 기계를 사용합니다. 이 도구는 공칭 힘으로 인한 교란을 최소화하고 고품질 서피스를 보장하도록 설계되었습니다. SATISLOH Auto-Flex에는 조절 가능한 스핀들 진동 및 로딩, 컴퓨터 생성 두께 (thickening) 또는 얇은 프로파일, 공격적인 스크러빙, 액체 냉각 (liquid cooling), 디버링 (deburring) 등의 다양한 추가 기능이 장착되어 있습니다. 자동 플렉스 (Auto-Flex) 는 고유한 공구 에셋을 사용합니다. 여기서 패드와 공구 스테이션은 모두 웨이퍼 크기와 모양을 가장 정확하게 제어할 수 있습니다. SATISLOH 정밀 세라믹 휠과 결합 된 조정 가능한 공구 모델로, 최고의 정확성과 반복 성을 제공합니다. SATISLOH Auto-Flex는 또한 휠 마모 및 휠 회전을 지속적으로 점검하여 최고 성능을 보장하는 자체 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. 자동 플렉스 (Auto-Flex) 는 정확한 머시닝 기능 외에도 온보드 도량형 스테이션에서 정확한 도량형 성능을 제공 할 수 있습니다. 이 스테이션에는 정확한 스캐닝 시스템 (scanning system) 과 광 프로파일로미터 (optical profilometer) 가 있어 전체 웨이퍼 표면을 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. 스캐닝 단위는 평면이 아닌 피쳐, 균일성, 전체 서피스 평탄도를 찾아서 측정할 수 있습니다. SATISLOH 자동 플렉스 (Auto-Flex) 는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 요구에 가장 높은 수준의 평면 화와 평면을 달성하려는 고객에게 적합한 솔루션입니다. 이 제품은 정확하고 반복적으로 사용할 수 있는 최고 품질의 컴포넌트 (component) 와 기능을 갖추고 있으며, 사용자에게 매우 친숙합니다. 자동 플렉스 (Auto-Flex) 는 가장 정확하고 정확한 마무리 서피스를 생성하기 위한 완벽한 솔루션입니다.
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