판매용 중고 SATISLOH Auto-Flex #293618556

ID: 293618556
빈티지: 2007
Polisher 2007 vintage.
SATISLOH Auto-Flex는 반도체, 광전자 및 마이크로 전자 산업의 정밀 응용 프로그램을 위해 특별히 설계 및 제작 된 자동 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 "시스템 '은" 와퍼' 와 다른 민감 한 기판 의 자동 연삭, "랩핑 '및 연마 를 위하여" 로봇' 식 "웨이퍼 '취급 을 이용 하여 각 기판 의 높은 정확도 와 반복성 을 보장 한다. SATISLOH (Auto-Flex Unit) 는 다기능 기능을 제공하여 처리 시간을 줄이고 제품의 표면 품질을 향상시킬 수 있습니다. SATISLOH의 SATISLOH Auto-Flex 머신은 강력한 광 처리 도구, 정교한 제어 플랫폼 및 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스 모듈로 구성됩니다. 유연하고 모듈식 (Flexible, Modular) 설계를 통해 각 개별 애플리케이션의 특정 프로세스 요구사항에 맞게 에셋을 조정할 수 있으며, 이를 통해 표면의 최대 조도 (Roughness) 가 1µm인 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 플렉스 (Auto-Flex) 모델을 사용하면 더 빠르고 정확한 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝이 가능한 피쳐 인식 및 정렬 스테이션을 통합할 수 있습니다. SATISLOH 자동 플렉스 (SATISLOH Auto-Flex) 장비에 포함된 통합 화학 처리 모듈은 주 (Main) 시스템과 독립적으로 작동하도록 특별히 설계되었으며, 높은 수준의 정확성과 반복성으로 웨이퍼를 자동으로 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 오염 물질 자유 서피스 마무리 (contaminant free surface finish) 와 처리된 기판의 전체 평탄성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 외에도 에지 그라인딩 (edge grinding) 및 디버링 (deburring) 과 같은 특수 프로세스 사이클과 통합하여 프로세스 자동화 및 정확도를 높일 수 있습니다. SATISLOH 의 이 기계는 직경 100 mm ~ 300 mm 범위의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 각 애플리케이션의 생산 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성과 범위를 제공합니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해, 이 도구는 탁월한 프로세스 제어 및 효율성을 제공하여 지속적으로 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 에셋은 클로즈드 루프 제어 플랫폼 (closed-loop control platform) 에서 작동하며, 더 높은 수준의 정확성을 위해 통합될 수 있는 비전 시스템 (옵션) 도 제공합니다. 전체적으로 SATISLOH (Auto-Flex model) 는 효율적이고 반복 가능한 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비로, 민감한 기판 처리를 위해 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 시스템을 통해 사용자는 사용자 지정 (customize) 방식으로 특정 애플리케이션을 충족할 수 있으므로 탁월한 결과와 반복 (repeatability) 을 얻을 수 있습니다.
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