판매용 중고 PETER WOLTERS / LAPMASTER microLine AC 2000-P2 #9352425
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판매
ID: 9352425
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Double side polishing machine, 12"
Wheel dimensions:
Outer: 1935 mm
Ring width: 686 mm
Thickness: 80 mm
Wheel distance: 190 mm With 80 mm wheel thickness
Pneumatic:
Maximum load pressure: 3500 daN
Compressed air: 6,5 Bar
Electronic equipment:
Servo drives digitally controller
Upper wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Lower wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Inner workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Outer workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Hold the drive aggregates for lower working wheel and workpiece drive
Electromechanical height adjustment for outer and inner pin ring
Splash guard pan
Assembly connections for easy access
Pneumatic load control
Interception device
Weighting device
Drives
Working wheels
Safety device
Corrosion resistant design
Electric switch cabinet (Air cooled)
CNC Controller
Operating panel
Polishing media connection and metering
Slurry distribution system
Polishing media collecting channel
Tool kit
Basical range of CNC Control S7-400 With visualization
Pressure control via proportional valve and pressure sensor
Display of the actual pressure value
13-Pressure ranges
Variable speed of rotation change in each pressure range of each drive
Variable change of rotation direction
Automatic swiveling in / out
5-Conditioning program with recorded inception heights
Alternative list for selective programming functions:
Swiveling device
Starting of the drives
Feeding of the polishing media
Wet mode
0020: Brush program
0030: Cooling water temperature monitoring
0040: Rinsing and spraying device (Chemical polishing)
0050: Spraying device
0060: Levelling device for horizontal adjustment of the upper working wheel
0070: Epicyclic work holder drive system
0080: (2) Polishing wheels
0090: Back up
Options:
0100: Power backup
0110: Polishing compound connection
0120: Cable identification
0130: Mixing block
0140: Taiwan electrics
Electrics: 460 V
UPS: 230 V
0150: Packing
0160: Commissioning
0170: Status light
0180: Loading counter
0190: Second hand operation station
0200: Shower guns for DI- Water
0210: (2) Heating / Cooling aggregate (WRK) 12760 W
0220: Heating / Cooling aggregate Heating possibility up to 55°C
0230: Fittings for cooling water circulation system with refrigeration unit
0240: 6-Step polishing program
0260: Fiberglas cable
0270: Separate drive security
0290: Signal tower with LED
0300: Indication of signal tower
0310: Upgrades
0320: 80-Polishing feed holes
0330: Anti-syphoning package
0340: Measuring device (Flatness)
0350: Distance block set
0360: Steel straight edge, 2000-0 mm
0370: Additional cable length
0380: Engineering costs
0390: PDR System
Power supply: 400 V + 6%-10% (Acc. DIN IEC 38)
Frequency: 50 Hz
Control voltage: 203 V / 24 VDC
2007 vintage.
LAPMASTER AC 2000-P2는 반도체 웨이퍼를위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 컴퓨터화된 컨트롤러, 모듈식 오차가 없는 스핀들 드라이브 (spindle drive), 다양한 고품질 연마재 및 산업 등급 화강암 베이스에 장착 된 빠른 변경 (change-over) 기능을 갖춘 정밀 장비입니다. 이 시스템은 200-300 mm 웨이퍼 랩핑 및 그라인딩을 최고의 정확도와 반복 가능성으로 처리하도록 설계되었습니다. AC 2000-P2에는 2 단계 랩핑 및 연마 프로세스가 있습니다. 각 단계는 두 부분으로 나뉩니다. 첫 번째 단계는 마운팅 스테이션, 웨이퍼 클램핑 플레이트 (wafer clamping plate) 및 견고한 랩핑 휠로 구성됩니다. 두 번째 단계는 다른 랩핑 휠을 사용하며 연마 패드 홀더 (polishing pad holder) 와 연마제 (marrasive agent) 의 거친 미세 진행이 특징입니다. 두 단계 모두 가변 속도 조정 (variable speed adjustment) 을 포함하여 연산자가 필요에 따라 속도를 늘리거나 줄일 수 있습니다. AC 2000-P2에는 컴퓨터 컨트롤러 (Computerized Controller) 도 있습니다. 이 컨트롤러는 런타임, 프로세스 설정, 자동 종료, 시스템 상태 표시등 연산자에게 자세한 데이터를 제공합니다. 컨트롤러는 매우 유연하며 다양한 입력 옵션 (예: 수동, 반자동, 완전 자동 모드) 을 사용할 수 있습니다. 또한 압력 (pressure), 슬립 (slip) 및 진동 한계 조절 (vbration limit regulation) 과 같은 조정 가능한 매개변수를 제공하여 공정 정확도가 가장 높습니다. 기계에는 통합 먼지 제거 도구도 있습니다. 에어 블레이드는 기계 외부에서 폐기하는 동안 생성 된 연마 먼지를 청소합니다. 먼지 수집 메쉬에는 가장 엄격한 입자 요구 사항을 충족하도록 조정 가능한 설정이 있습니다. PETER WOLTERS AC 2000-P2에는 고정밀 작동을 제공하는 모듈식 오류 없는 스핀들 드라이브가 장착되어 있습니다. 인체 공학 (ergonomics) 과 AC 모터 기술의 원리와 결합된 정교한 설계는 안정적이고 안전한 운영을 제공합니다. 에셋에는 와퍼 클램핑 (wafer clamping) 및 과압 제어 (overpressure-control) 용 공기 장치 (air-unit) 와 같은 다양한 옵션 모듈과 높은 정확도의 진동 보호 모델이 포함됩니다. 이러한 기능은 PETER WOLTERS/LAPMASTER AC 2000-P2를 고정밀 웨이퍼의 대량 생산에 이상적인 기계로 만듭니다. 정밀 엔지니어링과 유연성은 진정한 '올인원 (All-in-one)' 장비를 제공하며 랩, 연마, 에어 블로잉 및 생산 프로세스에 필요한 기타 모든 개선이 가능합니다. 시스템의 컨트롤러는 운영자에게 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있게 해 주며, 따라서 프로세스 품질 (quality) 이 뛰어납니다. AC 2000-P2 는 "반도체 웨이퍼 '제조를 위한 신뢰할 만한 장치' 를 찾는 생산자들에게 이상적인 선택이다.
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