판매용 중고 PETER WOLTERS / LAPMASTER MicroLine AC 1500-P #293660078
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ID: 293660078
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Polishing machines, 12"
Double size polisher
2007 vintage.
LAPMASTER AC 1500-P는 고급 마이크로 프로세싱 장비로, 매우 정밀한 재료 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 최대 200mm 직경의 웨이퍼 (wafer) 기판에서 자동 머시닝 응용 프로그램뿐만 아니라 수동 머시닝 응용 프로그램에 이상적인 조건을 제공합니다. 이 기계는 3 상 AC 모터에 의해 구동되며 공구 진동 및 단위 온도를위한 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 뿐만 아니라 공정 규제 전자 장치가 장착되어 있습니다. 모터 (motor) 는 분당 최대 300 회전의 회전 속도에 도달 할 수 있으며, 이를 통해 다른 고급 가공소재에서 동적이고 정확한 프로세스를 수행할 수 있습니다. AC 1500-P의 고유 한 회전 및 기울기 스핀들 (swivel and tilt spindle) 을 사용하면 마이크론 수준에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 고품질 드라이브 머신은 5개의 축으로 부드럽고 진동이없는 움직임을 허용합니다. 또한, 이 도구는 작업 로드 및 언로드 및 귀중한 안전 측면을위한 "반자동 재료 처리 (semi-automatic material handling)" 와 같은 고급 작동 기능으로 인해 높은 수준의 프로세스 보안을 제공합니다. 정밀한 격차 보상 자산 (gap compensation asset) 과 광범위한 디지털 센서 (digital sensor) 로 인해 미량의 재료조차도 자동으로 조정 및 보상 될 수 있습니다. 프로세스를 더욱 개선하기 위해, 기계는 파라 메트 화, 진단 기능 및 여러 프로세스 홀더를 갖추고 있습니다. 이 빠르게 교환 가능한 공정 홀더를 재료 별 형상과 함께 사용하면 각 기판 표면에 대한 빠른 적응과 높은 수준의 유연성 (flexibility) 이 가능합니다. 고급 제어 (Advanced Control) 소프트웨어는 모든 시스템 부품을 관리하므로 최고 수준의 정밀도에 원활한 워크플로우를 생성합니다. 결과적으로 AC 1500-P는 생산 정확도가 가장 높은 매우 낮은 결함 속도를 보장합니다. 뛰어난 정밀 특성과 안정적인 사용 가능한 수명을 지닌 고성능 모델입니다.
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