판매용 중고 PETER WOLTERS AL3P #9003984

PETER WOLTERS AL3P는 현대 반도체 제조 시설에 사용하도록 특별히 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 최대 200mm 직경의 소형 웨이퍼 (wafer) 뿐만 아니라 대량 생산에 높은 효율성과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치의 다양한 구성 요소는 기존/신규 운영 라인에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 기계는 gantry-type Y축 유닛, C축 로터리 테이블, 연마 스테이션, 랩핑 스테이션 및 연삭 스테이션으로 구성됩니다. Y축 장치는 최대 200m/min의 빠른 횡단 속도를 제공하는 재순환 볼 나사를 갖춘 견고한 캐리지로 구성됩니다. 통합 C축 회전 테이블은 +/- 0.03도 회전에 비해 높은 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. 웨이퍼는 클램프되고 스핀들 드라이브로 고정됩니다. 그라인딩 스테이션은 PLC 컨트롤러와 통합된 스핀들 드라이브 (spindle drive) 를 사용하여 사전 설정된 그라인딩 매개변수를 사용하여 정확한 그라인딩을 수행합니다. 랩핑 스테이션은 랩이 제어되는 동안 정확한 정밀도를 위해 PLC 컨트롤러와 완전히 자동화되고 통합됩니다. 또한 PLC 컨트롤러로 온도 모니터링을 위해 내부 온도 조절 도구 (in-situ temperon control tool) 가 내장되어 균일 한 랩 결과를 보장합니다. 최대 4 개의 연마 헤드로 구성된 연마 스테이션은 고성능 브러시리스 모터 (brushless motor) 로 구동되어 평균 위치 정확도가 +/- 1um 인 균일 한 연마 운동을 제공합니다. 강력하고 효율이 높은 이 자산은 Vision (옵션) 모델과도 통합되어 생산의 유연성을 확보할 수 있습니다. 이 장비에는 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스를 갖춘 PC 워크스테이션 (PC Workstation) 이 장착되어 있어 프로덕션 데이터를 쉽게 볼 수 있고, 운영 절차를 모니터링하고, 데이터를 Excel 시트로 내보낼 수 있습니다. 전반적으로 AL3P 시스템은 효율성이 높고, 안정적이며, 사용자 친화적이며, 제조 시설의 생산성을 극대화하는 한편, 최적의 일관된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 결과를 제공합니다.