판매용 중고 PETER WOLTERS AL2 #155749
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ID: 155749
빈티지: 1968
Double faced Lappers
Plate ext. diameter : 840 [mm]
Plate int. diameter : 210 [mm]
Number of satellites : 4
Satellites diameter : 340 [mm]
Diamond honing
Part maxi height : 20 [mm]
Honing : 1 or 2 faces
Rotation speed lower plate : 31-62 [rpm]
Rotation speed upper plate : 33-66 [rpm]
Shaft between parts rotation speed : 17/28/45/70/113 [rpm]
Motor power : 10 [kW]
Upper plate pressure : 0to 0.125 [kg/mm2]
Central system for driving satellite (gear) has been removed
Satellites do not rotate on themselves
Units were upgraded in 2006
1968 vintage.
피터 울터스 알2 (PETER WOLTERS AL2) 는 다양한 재료에서 매우 높은 성능을 달성하기위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 다목적 시스템에는 2 개의 개별 그라인딩 헤드, 랩핑을위한 c축 헤드, 연마 작업을위한 플랫 헤드가 있습니다. 이 장치는 미니 웨이퍼 크기를 최대 300mm까지 처리하도록 설계되었으며 세라믹, 실리콘, 유리 기판과 같은 응용 분야에 적합합니다. 기계에는 닫힌 루프 서보 컨트롤이 장착되어 있으므로 반복 가능하고 정확한 작동이 가능합니다. 전체 PLC 제어를 사용하면 다양한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 프로세스를 자동으로 구현할 수 있습니다. 통합된 2D 비전 도구를 통해 웨이퍼 직경을 프로세스 내 측정할 수 있으며, 그라인딩, 랩핑, 연마 프로세스가 단단한 공차 내에서 일관되게 수행되도록 합니다. 에셋은 최대 3 개의 동시 연삭 또는 연마 프로세스를 실행할 수 있으며, 3 개의 랩핑 속도 (lapping speed) 를 선택하여 구성할 수 있습니다. 이 모델은 또한 공정 (process cycle) 을 지원하는 내장 공기 냉각 장비 (air-cooling equipment) 를 갖추고 있으며 프로세스 주기 전반에 걸쳐 최적의 수준의 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 일관성 있고 고성능 결과를 위해 고정밀 다이아몬드 도구를 사용합니다. 랩핑 및 다이아몬드 연마 패드에 다이아몬드 슬러리 (diamond slurry) 를 사용할 수 있으며 Ra 0.1äm만큼 낮은 표면 거칠기를 달성 할 수 있습니다. 이 장치는 조절 가능한 그라인딩 깊이 매개변수를 특징으로하며 다양한 웨이퍼 두께를 달성하기위한 상단 (top-in) 및 하단 (bottom-out) 그라인딩 모드를 갖습니다. 기계에는 자동화된 부품 처리 도구 (Automated Part Handling Tool) 가 있어, 반복 가능한 정렬 및 후속 처리 단계로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 또한 사용자의 안전을 보장하기 위해 안전 연동 자산 (Safety Interlock Asset) 이 장착되어 있습니다. 이 모델은 그라인더 모듈을 쉽고 빠르게 교환할 수 있는 공구가 필요 없는 (Tool-Free) 설정으로 설계되었습니다. 결론적으로 PETER WOLTERS AL 2는 고도로 고급적이고 정교하며 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정밀도, 정확성, 반복성을 제공하여 업계의 응용프로그램에 적합하며, 전자제품 (electronics) 과 마이크로 전자 부품 (micro-electronic component) 의 생산에 높은 수준의 성능이 필요합니다.
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