판매용 중고 PASSION 9435-301 #9183402
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PASSION 9435-301은 고품질 단면 및 양면 웨이퍼를 준비 및 마무리하기 위해 설계된 강력한 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 매우 정확하고 반복 성을 위해 견고하고 단단한 프레임으로 제작되었습니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 의 상단 서피스에서 재료를 제거하는 한편, 균일하고 거울 같은 마무리를 생성할 수 있습니다. 직경 200mm ~ 12 인치 범위의 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으며, 표준 웨이퍼 (wafer) 와 융합 실리카 및 반도체 기판 모두와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 연삭 장치 (grinding and polishing unit) 는 중앙 제어판을 통해 작동되며, 이를 통해 운영자는 다양한 웨이퍼 처리 작업에 대한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 연삭 및 연마 용 스핀들 2 개와 웨이퍼 공급용 피더가 있습니다. 급지대는 대형과 소형 웨이퍼를 모두 효율적으로 처리하기 위해 분당 0 ~ 1500mm (0 ~ 1500mm) 의 조절 가능한 속도 범위를 갖습니다. 이 공구에는 연삭 및 연마 표면을 윤활하고 시원하게 유지하기 위해 연속 순환수 (continuous circulating water asset) 도 장착되어 있습니다. 이 모델의 고급 컴퓨터 장비 (Advanced Computerized Equips) 는 운영자가 응답 처리 시스템을 프로그래밍할 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼 상태 (예: 온도, 압력, 속도, 특수 메모) 에 관한 귀중한 정보도 제공합니다. 또한 소프트웨어 패키지 (옵션) 를 사용하여 원거리에서 기록된 웨이퍼를 볼 수 있습니다. 액츄에이터에는 웨이퍼의 양면 처리를 위해 두 개의 도구가 동시에 있습니다. 연삭 및 연마 공구는 부드러운 마무리를 위해 고급 재료로 제조됩니다. 이 장치에는 파퍼 페이스 앤 에지 (wafer face and edge) 에서 연마 패드를 문지르도록 허용하는 몇 가지 마무리 비품도 포함되어 있습니다. 또한, 기계에는 단일 포인트 깊이 제어 밸브 (single-point depth control valve) 가 포함되어 각 웨이퍼에 대한 랩핑 압력을 조절하여 정확한 결과를 산출합니다. 또한 9435-301에는 비상 정지 버튼 (emergency stop button) 및 인터 로킹 커버 (interlock cover) 와 같은 안전 기능이 포함되어 있어 운영자 손상 위험을 줄입니다. 또 다른 특징 으로는 연마 와 연마 중 에 생긴 벌금 의 양 을 줄이려는 먼지 수집기 (dust collector) 와 "웨이퍼 '공정 으로 인한 환경 장애 를 최소화 하는 환경 조절 도구 (Environmental Control Tool) 가 있다. 에셋에는 또한 운영자에게 기계 상태, 웨이퍼 (wafer) 처리 진행 상황 및 기타 라이브 피드백을 알릴 수있는 다양한 신호 및 경보가 포함되어 있습니다. 요약하자면, PASSION 9435-301은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 고급 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 중앙 제어판, 고급 컴퓨터 시스템, 스핀들 2 개, 급지대, 연속 순환수 장비, 안전 기능, 먼지 수집기, 환경 제어 시스템 등 정교한 기능을 갖추고 있습니다. 이들 구성 요소는 모두 함께 작동하여 고품질 웨이퍼 (wafer) 를 준비하고 마무리하기 위한 안전하고 효율적인 장치를 제공합니다.
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