판매용 중고 OPTOTECH ASP 80 DMT #293651482
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OPTOTECH ASP 80 DMT는 고성능, 고순도 반도체 및 광학 장치의 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계된 완전 자동화된 프로그래밍 가능한 장비입니다. 이 시스템은 최소 폐기물로 적당한 크기, 형태, 표면 마무리로 기판을 준비하는 데 사용됩니다. 이 장치는 정밀 연삭 및 랩핑 장치, 연마 장치 (polishing unit) 및 통합 제어 기계 (integrated control machine) 를 결합하여 연삭 및 연마 과정을 완전히 자동화합니다. 공정의 연삭 단계는 다이아몬드 그라인딩 휠 (diamond grinding wheels) 을 사용하여 기질의 지름을 필요한 크기와 모양으로 줄이는 고정밀 로봇 (high-precision robot) 으로 시작합니다. 로봇은 균일 한 그라인딩 패턴과 최소한의 표면 거칠기를 보장하도록 구성됩니다. 그 다음에는 랩핑 유닛이 있습니다. 여기, 자기 구동 정밀도 테이블이 기판을 회전시키는 반면, 테이블은 동시에 다이아몬드 서스펜션 (diamond suspensions) 이 연삭 및 연마 과정에 공급됩니다. 이는 균질하고 매우 평평한 기판 표면을 보장합니다. 연마 단계에는 고정밀 연마 장치가 포함됩니다. 이 장치 에는 연마용 "브러쉬 '가 장착 되어 있는데, 이" 브러쉬' 는 열 발생 과 표면 손상 을 감소 시키면서 심지어 연마 까지 하는 데 도움 이 된다. 이 장치는 또한 사용자가 연마 매개변수를 프로그래밍하고 최적의 서피스 프로파일 (surface profile) 을 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구에는 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 와 디지털 패널 (digital panel) 이 있는 통합 컨트롤러가 추가로 장착되어 있습니다. 컨트롤러는 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 프로세스를 프로그래밍할 수 있도록 하고, 컴퓨터 인터페이스를 통해 사용자가 레시피를 만들고 수정할 수 있도록 합니다. 디지털 (digital) 패널을 사용하면 현재 사용 중인 레시피를 확인하고 그에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 전반적으로 ASP 80 DMT는 웨이퍼의 정확한 연삭, 랩핑 및 연마를 제공하는 다재다능한 자산입니다. 이 모델은 반도체, 광학 및 MEMS 장치를 포함한 다양한 기판을 연마 및 연마하는 데 적합합니다. 또한 중대형 (medium-large) 운영 환경에서 사용할 수 있도록 최적화되어 있으며, 사용자는 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 프로세스를 최대 유연하게 제어할 수 있습니다.
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