판매용 중고 OKAMOTO VG 502 #9086507
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OKAMOTO VG 502는 정밀 분쇄기 제조업체 인 OKAMOTO Corporation이 설계 한 자동 웨이퍼 분쇄, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 연삭, 랩핑, 연마 프로세스를 완전히 자동화하여 제조 효율성을 높이고, 인건비를 절감하며, 결과의 품질과 균일성을 향상시킵니다. 이 장치는 로터리 (rotary) 테이블을 사용하여 두 방향 중 하나에 웨이퍼를 고정하고, 한 번에 최대 32 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. "프로그램 '가능 액체 분배기 는 필요 에 따라 연삭," 랩핑' 및 연마 화합물 을 정확 하게 적용 하는 데 사용 된다. 그런 다음 그라인딩 휠, 회전 식 랩핑 플레이트 및 연마 패드를 통해 처리됩니다. 또한 "페퍼로니 급지대 (Pepperoni Feeder)" 와 같은 다양한 종류의 액세서리를 사용하여 웨이퍼를 올바르게 공급하고 "무게 롤러 (Weight Roller)" 를 사용하여 랩핑 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 결과의 정확성과 균일성을 보장하기 위해 닫힌 루프 제어 머신 (closed-loop control machine) 이 사용됩니다. 이렇게 하면 레이저 간섭계 (laser interferometer) 와 피드백 모터 (feedback motor) 를 사용하여 공정의 데이터를 기반으로 회전 속도나 축을 자동으로 조정할 수 있습니다. 자동 시스템 진단 (Automatic machine diagnostics) 을 사용하여 작업 중에 발생할 수 있는 오류를 감지할 수도 있습니다. 전반적으로 OKAMOTO VG-502 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 (lapping and polishing) 도구는 단일 작업으로 대규모 배치를 처리 할 수있는 고급 자동 솔루션을 제공합니다. 고급 제어 (Advanced Control) 기능과 데이터 수집 (Data Collection) 기능을 통해 모든 운영 환경에 적합한 솔루션으로, 높은 수준의 결과를 얻을 수 있습니다.
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