판매용 중고 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #9036371
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OKAMOTO VG 502 MKII 8은 제조업체 OKAMOTO에서 생산 한 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 한 단계에서 직경이 최대 8 "인 파퍼를 연삭, 연마 및 랩핑 할 수 있습니다. OKAMOTO VG-502 MKII 8은 다양한 실리콘 웨이퍼 및 기판을 연마, 랩핑 및 연마하기 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 두 개의 별도 스핀들 (그라인딩 스핀들 및 랩핑 스핀들) 이 있으며, 각각 모터와 정밀 제어가 있습니다. 그라인딩 스핀들 (grinding spindle) 은 연삭 힘을 정확하게 제어 할 수 있으며, 프로세스 개발에서 광범위한 가능성을 가능하게합니다. 랩핑 스핀들은 2 개의 독립적 인 동력 디스크를 사용하여 더 세밀한 마무리를 달성합니다. 두 스핀들 모두 정방향 (forward) 과 역방향 (reverse motion) 으로 회전하여 프로세스 동안 정확하게 제어할 수 있습니다. 기계는 주 단위, 작업 테이블 및 통합 제어 도구 (Integrated Control Tool) 로 구성됩니다. 주요 장치에는 청소, 에칭 (etching) 과 같은 후처리 요구에 따라 화학 물질을 저장하고 순환시키는 데 사용할 수있는 4 개의 탱크가 있습니다. 작업 테이블은 스캐닝 헤드, 3 축 디지털 디스플레이 및 처리 중 샘플 온도를 제어하기위한 냉각식 워터 재킷 (cooled water jacket) 이 포함 된 X-Y 축 테이블 트래블로 구성됩니다. 통합 제어 자산을 사용하면 프로세스를 정확하게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이 기계는 매우 컴팩트하고 공간 효율적이도록 설계되었으며, 운영자는 운영 라인 (production line) 근처에 설치할 수 있습니다. 이로써 샘플의 수동 처리 (manual handling) 와 섬세한 부품을 이동함으로써 발생할 수 있는 잠재적 손상 (potential damage) 을 줄일 수 있습니다. 이 모델의 컨트롤은 간단하고 직관적이며, 빠르고 쉽게 설치하고 작동할 수 있습니다. VG 502 MK II 8은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에 대한 새로운 표준을 설정합니다. 컴팩트한 디자인과 정교한 제어 시스템 (Control System) 은 웨이퍼 레벨 프로세스를 처리하는 데 사용할 수있는 가장 고급 시스템 중 하나입니다. 이 장비는 생산 효율을 극대화하고 품질 웨이퍼 처리를 보장합니다.
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