판매용 중고 OKAMOTO VG 502 MKII 8 #293804366

OKAMOTO VG 502 MKII 8은 반도체 제조를 위해 설계된 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 직경 200mm (8 인치) 의 멀티 레이어 반도체 웨이퍼를 처리하는 데 적합합니다. 이 시스템에는 8 인치 그라인딩 휠과 2 인치 8 인치 Bob Gust Type 랩핑 롤이 장착되어 있습니다. 그라인딩 휠에는 0-30 m/sec 범위의 조정 가능한 가공소재 속도가 있으며, 랩핑 롤은 최대 6m/sec로 작동합니다. 이 장치에는 3 축 스테이지와 정확한 재료 제거를위한 동력 상승 기계가 있습니다. OKAMOTO VG-502 MKII 8은 고속 및 정확한 위치를 위해 단일 선형 모터를 사용합니다. 이 도구의 최대 가속도는 4500mm/sec2이며 X-Y 평면에서는 0.02m입니다. 작업 면적은 140 x 140mm이며 이동 범위는 1150 x 2550mm입니다. 자산에는 여러 프로세스 모니터링 기능이 장착되어 있어 최적의 성능을 보장합니다. 이 모델은 표면 품질, 진동, 휠 속도, 휠 직경, 휠 압력 수준, 휠 헤드 온도 및 압력, 표면 형태 및 웨이퍼 이심률을 모니터링합니다. 이 장비는 다중 헤드 로딩 설비로 설계되어 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. DC 모터 및 기어 메커니즘은 휠 헤드의 부드러운 회전을 보장합니다. VG 502 MK II 8은 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 다른 매개 변수 및 프로세스 단계를 프로그래밍하기 쉽습니다. 이 시스템에는 그라인딩 휠 rpm, 피드 레이트 (feed rate) 및 휠 압력과 같은 매개변수를 설정하기위한 PLC 기반 제어 회로가 장착되어 있습니다. 이 장치는 빠르고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 수행 할 수 있습니다. 그라인딩 휠을 깨끗하게 유지하기 위해 (옵션) 내부 클리닝 머신과 함께 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 최소한의 유지 보수가 필요하며, 사용자가 연삭 휠 (grinding wheel) 과의 우발적 접촉으로부터 보호하기 위해 안전 기능이 내장되어 있습니다.