판매용 중고 OKAMOTO SVG 502 MK II 8 #293616605

OKAMOTO SVG 502 MK II 8은 최대 200mm 직경의 기판 크기를 처리하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 12,000rpm이 가능한 고정밀 플랫 그라인딩 스핀들과 6,000rpm에서 작동하는 랩 스핀들 (lap spindle) 이 있습니다. 이 장치에는 단일 패스 (single-pass) 및 이중 패스 그라인딩 (double-pass grinding) 기능이 모두 있어 평평하고 높은 종횡비 표면을 동시에 생산할 수 있습니다. 이 기계에는 총 4 개의 연삭/연마 및 랩핑 스테이션이 포함됩니다. 스테이션 중 2 개는 프로그래밍 가능한 거친 그라인드 모듈로 구성되며 웨이퍼 표면의 코스 그라인딩에 사용됩니다. 다른 스테이션 중 2 개는 정밀 광택 플래튼을 특징으로하며 웨이퍼 에지 피니싱 및 미세 그라인딩에 사용됩니다. 4 개의 스테이션 모두 정확성 및 생산 일관성을 향상시키기 위해 매우 정확한 기계, 열 및 공기 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 2 축 수직 이동, 4 축 터렛 이동, 1 축 피치 조정 및 2 축 진동 제어를 갖춘 9 축 로봇 자동화 센터가 포함되어 있습니다. 로봇 자동화 센터는 감독되지 않은 제조 공정을 허용하는 반면, ECU (Integrated Electronic Control Unit) 는 스핀들 속도, 피치, 위치, 그라인딩 등과 같은 모든 기계 기능을 모니터링하고 제어하는 데 사용됩니다. 이 자산은 사용하기 쉬운 PC 기반 사용자 인터페이스로 구동되며, 4 개의 그라인딩/폴리싱 및 랩핑 스테이션을 모두 제어할 수 있으며 Windows, Linux 및 Mac 운영 체제와 호환됩니다. 사용자 인터페이스는 사용자가 사용할 수 있는 다양한 프로그래밍 설정 (로봇 지원 부품 픽 및 배치, 서피스 마무리, 모서리 라운드, 패드 다듬기 등) 을 제공합니다. OKAMOTO SVG 502 MKII 8은 매우 효율적이고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델로, 가장 까다로운 웨이퍼 기판 요구에 적합합니다. 고정밀 그라인딩 및 랩핑 컴포넌트, 직관적인 사용자 인터페이스, 까다로운 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 충족하는 고급 자동화 장비 등이 특징입니다. 최고 품질의 웨이퍼 기판 재료를 제공 할 수 있도록 설계되었습니다.