판매용 중고 OKAMOTO SPP-800ATB #293817484

ID: 293817484
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 2021
High-precision polishing machine, 4"-6" 2021 vintage.
OKAMOTO SPP-800ATB는 마이크로 일렉트로닉스 업계에서 반도체 웨이퍼의 고정밀도 및 고효율 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술을 통합하여 정확도, 표면 품질, 생산성 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. SPP-800ATB 장치의 핵심은 견고하고 단단한 기계 구조로, 웨이퍼 (wafer) 처리 작업 중에 뛰어난 안정성과 진동 감쇠를 제공합니다. 즉, 매우 얇은 웨이퍼나 섬세한 재료를 사용해도 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계에는 고급 모션 컨트롤 시스템 (Motion Control System) 과 지능형 모니터링 (Intelligent Monitoring) 기능이 장착되어 있어 처리 매개변수를 최적화하고 최소한의 변형을 통해 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. OKAMOTO SPP-800ATB 도구의 주요 기능 중 하나는 다용도 및 모듈식 설계로, 단일 플랫폼에서 연삭, 랩핑, 연마 등 다양한 처리 단계를 완벽하게 통합할 수 있습니다. 이러한 모듈식 접근 방식을 통해 사용자는 특정한 요구 사항에 따라 자산을 구성하고 다른 웨이퍼 (wafer) 크기, 재료, 프로세스 단계에 쉽게 적응할 수 있습니다. 이 모델은 직경이 수 밀리미터 ~ 8 인치 이상인 웨이퍼 (wafer) 를 수용할 수 있으며, 반도체 업계의 광범위한 응용 분야에 적합합니다. SPP-800ATB 장비의 그라인딩 모듈은 고급 그라인딩 휠 (grinding wheel) 및 연마 재료를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면에서 재료를 정확하게 제거하고 원하는 두께 및 평탄도 사양을 달성합니다. 이 시스템에는 고정밀 스핀들 어셈블리 (spindle assembly) 와 공구 시스템이 장착되어 있어 도구의 마모는 최소화하고 웨이퍼 서피스 전체에 일관된 재료 제거 속도를 유지하면서 최적의 그라인딩 성능을 보장합니다. 또한, 이 장치는 프로그래밍 가능한 프로세스 제어 기능을 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 그라인딩 매개변수를 세밀하게 조정하고 프로세스 효율성을 최적화할 수 있습니다. 랩핑 및 다듬기 모듈에서 OKAMOTO SPP-800ATB 기계는 특수 도구 및 소모품을 사용하여 웨이퍼 표면 마무리를 더욱 개선하고 서브 미크론 수준 평온 및 러프 니스 (roughness) 값을 달성합니다. 공구에는 정밀 제어 랩핑 플레이트 (precision-controlled lapping plate) 와 배열 패드 (polishing pad) 가 장착되어 웨이퍼 표면에 압력과 동작을 적용하여 균일 한 재료 제거 및 표면 결함이 제거됩니다. 고급 모니터링 (Advanced monitoring) 및 피드백 (feedback) 시스템은 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 처리 조건을 실시간으로 조정하여 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다. SPP-800ATB 에셋은 사용자에게 친숙한 인터페이스와 직관적인 소프트웨어 제어 모델 (Software Control Model) 을 통해 운영자가 처리 매개변수를 손쉽게 프로그래밍하고 모니터링하고, 프로세스 데이터를 실시간으로 시각화하고, 결과를 분석할 수 있습니다. 이 장비는 로봇 웨이퍼 처리 (robotic wafer handling) 및 현장 프로세스 모니터링 및 품질 제어를 위한 통합 도량형 시스템 (Integrated Metrology System) 옵션이 포함된 높은 처리량 및 자동화를 위해 설계되었습니다. 전반적으로 OKAMOTO SPP-800ATB 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 정밀 웨이퍼 처리 기술의 새로운 표준을 설정하여 반도체 제조업체 및 연구 기관에 탁월한 성능, 유연성, 신뢰성을 제공합니다. 웨이퍼 제조 프로세스.
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