판매용 중고 OKAMOTO PSG155DX #9375274
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ID: 9375274
Surface grinding machine
Chuck size: 1500 x 500 mm
Electromagnetic chuck
Water injection tank with separator.
OKAMOTO PSG155DX는 고정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정확한 연마 머시닝을 제공하며, 까다로운 요구사항, 평면성 (flatness and surface finish) 을 충족하는 탁월한 평면 웨이퍼를 생산하여 비용이 많이 드는 재작업 또는 폐기를 제거합니다. 이 기계는 3 개의 기본 처리 장치 (연삭, 랩핑 및 연마) 로 구성되며, 각각 균일 한 결과를 보장하는 자체 중복 기능이 있습니다. 그라인딩 장치에는 각각 독립적으로 조정 가능한 회전 속도를 가진 2 개의 가변 속도 스핀들 (variable speed spindle) 이 장착되어 있으며, 비 방향성 매트 표면에서 초소형 광학 품질에 이르기까지 정확한 마무리를 선택할 수 있습니다. 또한 스핀들 (spindles) 은 가공하는 동안 가공소재의 변경 사항을 모니터링하고 응답하는 로드 센서를 특징으로합니다. 랩핑 장치 (lapping unit) 는 전체 작업주기 동안 부드럽게 움직이는 2 개의 독립적 인 로더와 폴리셔 (polisher) 로 구성된 장치의 핵심입니다. 각 연마제는 연마 연마를위한 2 개의 판과 부드러운 표면 마감을위한 1 개의 판이 있습니다. "랩핑 '판에 가해지는 압력은 조절이 가능해 고정밀도 작업에 필요한" 공차' 를 조절할 수 있다. 접시는 내구성 폴리 이 미드 (polyimide) 로 만들어져 다른 연마제 크기로 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 연마 장치 (polishing unit) 는 가공되는 재료의 독특한 특성을 고려하여 높은 표면 마무리를 허용합니다. 연마, 사용자 정의 설정, 표면 매끄러움 및 선명도의 최적 수준을 달성하기 위해 다양한 연마제가 제공됩니다. 이 장치에는 또한 가공소재의 변화를 모니터링하는 로드 센서 (load sensor) 가 있어 부하와 각도를 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 결국, PSG155DX는 우수한 성능을 제공하기 위해 설계된 잘 개발 된 고급 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 머신은 최첨단 모터, 센서, 재료를 갖추고 있어 최적의 성능과 정확한 결과, 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램 (wafer processing application) 을 제공합니다. 이 도구는 다양한 처리 능력을 통해 최고의 품질 (quality) 결과를 얻을 수 있습니다.
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