판매용 중고 OKAMOTO PSG-126C #9124814
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ID: 9124814
빈티지: 1985
Automatic hydraulic surface grinder,
Incremental powered downfeed
23" x 47" Electro-magnetic chuck w/ controls
Hydraulic over-the-wheel dresser
Coolant system w/ filtration unit
Automatic lubrication system
Wheel balancing unit
1985 vintage.
OKAMOTO PSG-126C는 광전자, 마이크로 일렉트로닉스, 반도체와 같은 첨단 분야에 사용되는 세라믹, 실리콘, 쿼츠 기판 및 기타 재료의 정밀 샘플 준비를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 "시스템 '은 고도 의 정확도 로 훌륭 하고 균일 한 표면 마무리 를 만들어 내도록 설계 되었다. 이 장치는 로터리 그라인딩 휠 (rotary grinding wheel) 과 고정밀 선형 피드백 서보 구동 기술을 사용하여 웨이퍼 샘플의 양면을 한 번에 정확하고 빠르게 갈립니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 은 모든 샘플에서 동일한 양의 그라인딩 압력을 보장하는 단일 평평한 그라인딩 고원을 제공하도록 설계되었습니다. "휠 '은 제어 속도 로 회전 하며 여러 가지 각도 와 속도 로 여러 가지 재료 를 연마 하도록 조정 할 수 있다. 결과 샘플은 균일하고 결함이 없습니다. 기계는 또한 연삭 휠 (grinding wheel) 에 맞춘 정밀 랩핑 및 연마 서브 시스템 (Precision Lapping and Polishing Subsystem) 과 함께 제공되며 연삭 휠 도구와 별도로 통합 또는 작동 할 수 있습니다. 조정 가능한 자기 척 (magnetic chuck) 과 공기 베어링 캐리지 (air bearing carriage) 를 사용하여 표본 위로 바퀴를 정확하게 이동합니다. 이것은 모든 웨이퍼 샘플에서 매우 일관된 랩핑 및 연마 결과를 제공합니다. PSG-126C 는 터치스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 와 같은 사용자에게 친숙한 기능과, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 설정할 수 있는 다양한 프로세스 매개변수로 설계되었습니다. 이 자산은 또한 사용자가 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 작업의 진행 상황을 모니터링할 수 있도록 정밀도 피드백 데이터를 제공합니다. OKAMOTO PSG-126C는 정확성과 반복성을 모두 제공하는 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 효과적인 도구입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 매우 정밀한 모션 제어 모델, 조정 가능한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 통해 많은 wafer 처리 응용 프로그램에 적합합니다.
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