판매용 중고 OKAMOTO PRG-6 #200286
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ID: 200286
빈티지: 1987
Rotary surface grinding machine
Diameter of magnetic chuck: 24"
Maximum swing inside coolant guard: 28"
Standard wheel size: 14" x 1.5" x 5" hole
Maximum height to center of wheel: 15"
Wheel elevation by hand or power
Maximum angle-concave or convex: 3 degrees
Table speeds: 30 - 100 RPM
Table travel, maximum: 16"
Table travel rate: 0 - 15 FPM
Variable magnetic chuck control
Hydraulic wheel guard dresser
10 HP spindle drive motor
3 HP hydraulic system motor
Table trip dogs
Coolant tank & pump
Splash guarding
1987 vintage.
OKAMOTO PRG-6은 완전히 자동화된 고성능 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 웨이퍼 제작 시스템은 단면 또는 양면 웨이퍼의 전면 및 후면 서피스를 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 높은 정확도, 정확도 및 균일성을 위해 정확한 편평성을 달성 할 수 있습니다. PRG-6에는 소형 연삭, 랩핑 및 연마 헤드가 장착되어 있습니다. 이 헤드는 XY 축 동시 연삭, 랩핑 및 연마 메커니즘을 특징으로합니다. 이것은 높은 수준의 정확도로 정확한 평탄성을 보장합니다. "헤드 '는 정밀 한 평평 함 을 유지 하고" 랩' 을 정밀 한 각도 로 유지 하면서 빠른 속도 로 연마 할 수 있다. 또한 정확한 연마를 제공 할 수 있습니다. OKAMOTO PRG-6에는 웨이퍼 전 처리 장치도 포함되어 있습니다. 이 장치 는 "와퍼 '가 연삭," 랩핑' 및 연마 장치 로 가공 되기 전 에 깨끗 해지게 한다. 스핀 건조 장치와 습하고 건조한 청소 공정이 특징입니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 오염 물질 로부터 벗어나 처리 할 준비 가 되어 있음 을 보장 해 준다. PRG-6에는 컴퓨터 제어 시스템도 있습니다. 이 도구를 사용하면 모든 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 여기에는 웨이퍼 사전 처리, 연삭, 랩핑 및 연마가 포함됩니다. 또한 프로세스의 각 단계에 대해 정확한 설정을 허용합니다. OKAMOTO PRG-6은 서브 미크론 수준의 정확도로 처리 할 수 있습니다. 에셋은 평면, 반사 표면 마감으로 단면 및 양면 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. PRG-6은 또한 처리 중 고효율 및 저열 발생을 특징으로합니다. OKAMOTO PRG-6은 고성능, 완전 자동 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 모델입니다. XY 축 동시 연삭, 랩핑 및 연마가있는 소형 연삭, 랩핑 및 연마 헤드가 장착되어 있습니다. 이것은 높은 수준의 정확도로 정확한 평탄성을 보장합니다. PRG-6 (PRG-6) 은 또한 프로세스의 각 단계를 정확하게 제어하기위한 웨이퍼 사전 처리 장치 및 컴퓨터 제어 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 평면, 반사 표면 마무리 (sub-micron level) 의 정확도로 단면 및 양면 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다.
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