판매용 중고 OKAMOTO Grind-X SPL15 #9406883

ID: 9406883
빈티지: 1999
Polisher 1999 vintage.
OKAMOTO Grind-X SPL15는 웨이퍼 제조 공장에서 사용하도록 설계된 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 기계는 별도의 단계에서 최대 15 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 각 스테이지에는 고급 (advanced) 기술이 장착되어 웨이퍼 처리에 최대 정확성을 제공합니다. 고급 그라인딩 (Grinding) 기술은 정확성을 위해 설계되어 최고의 품질 표준 (Quality Standard) 으로 웨이퍼를 준비합니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 은 강력한 서보 모터 (servo motor) 에 의해 제어되며, 다중 축 제어 및 상수 속도 조정이 장착되어 각 웨이퍼의 회전 및 연삭 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 그라인딩 휠 (grinding wheel) 은 고급 다이아몬드로 만들어지고 표면은 내부 냉각되어 표면 온도를 원하는 수준으로 유지합니다. 랩핑 프로세스는 고유 한 멀티 축 테이블 (multi-axis table) 과 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용하여 각 웨이퍼를 안전하고 정확하게 배치합니다. 랩핑 테이블의 동작이 정확하게 제어되므로 웨이퍼 모서리 (wafer edges) 와 서피스 (surfaces) 에서 높은 정밀도 그라인딩을 수행할 수 있습니다. 랩 처리 후, 웨이퍼는 연마 과정을 겪으며, 이는 단일 단계 또는 멀티 스테이지 모드로 설정 될 수 있습니다. 이를 통해 부드러운 버핑에서 고속 미러 마무리에 이르는 표면 마무리가 가능합니다. 오카모토 (OKAMOTO) 특허를받은 온셋 그라인딩 (Onset grinding) 기술은 웨이퍼에 광택 마무리를 제공하여 광학 특성을 정확하게 제어하고 표면이 특징이없고 부드럽게 유지되도록 합니다. 마지막으로, 조정 가능한 진동 텀블러 (vibratory tumbler) 를 사용할 수 있으며, 이를 통해 완료된 웨이퍼를 빠르고 효과적으로 청소할 수 있습니다. 요약하면, Grind-X SPL15는 최대 15 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템이며 강력한 서보 모터, 멀티 축 컨트롤, 다이아몬드 그라인딩 휠 (diamond grinding wheel) 과 같은 고급 기능을 갖추고 있습니다. 연삭 및 랩핑 프로세스.
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