판매용 중고 OKAMOTO ASM-420M #9216418

OKAMOTO ASM-420M은 완전하고 자동화된 솔루션으로 작동하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 듀얼 스핀들 (spindle) 이 장착되어 있으며, 각각 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 두 스핀들 (spindle) 은 그라인더 (grinder) 와 광택 연산을 독립적으로 제어하여 정확한 표면 마무리 결과를 제공합니다. 이 장치는 최적의 프로세스 및 생산성을 위해 자동으로 교정되도록 프로그래밍 (programming) 되어 프로그래밍 시간이 단축됩니다. 연삭 과 연마 는 "웨이퍼 '를" 홀더' 에 넣고 "스핀들 홀더 '에 고정 시킴 으로써 이루어진다. 일단 "웨이퍼 '를 놓으면, 표면" 프로파일' 과 결함 을 측정 하기 위하여 간격 과 접촉 탐지 를 한다. 연삭 과정은 각 스핀들에 위치한 2 개의 연삭 휠에 의해 달성됩니다. 스핀들 (spindle) 은 선형 가속 및 감속력을 가지며 웨이퍼의 정확한 분쇄를 보장하기 위해 조정 가능합니다. 연마 과정은 수직 축에 위치한 부품 변경 광택제 (part changing polisher) 를 통해 수행됩니다. 이렇게 하면 연마 "패드 '가 원운동 으로 위, 아래, 옆으로 움직 일 수 있다. 그런 다음 와퍼는 연삭 및 연마 후 백엔드로 옮겨집니다. 이 모듈은 웨이퍼 분해 머신과 후처리 모듈 (옵션) 으로 구성됩니다. 퇴화 도구 (deglazing tool) 는 회전하는 브러시 및 화학 용액을 사용하여 표면에서 마지막으로 남은 오염 물질을 제거합니다. 후처리 (post-processing) 모듈은 화학 수단을 사용하여 검사를 수행하고 표면 거칠기를 조정하는 데 사용됩니다. 전체 워크플로는 그라인딩 (grinding) 및 연마 온도, 간격 (gap) 및 접촉 (contact) 을 측정하고 기록하는 프로세스 모니터링 자산에 의해 모니터링 및 조절됩니다. 이 모델은 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 완벽하게 제어하여, 일관된 품질을 유지하면서 많은 수의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. ASM-420M 은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기를 위한 효율적인 솔루션으로, 뛰어난 유연성과 확장성을 제공합니다. 즉, 고급 성능 및 프로세스 제어를 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 자동 (automated) 작업을 통해 설정 및 프로그래밍 시간을 단축할 수 있습니다.