판매용 중고 NTT-AT ATP3000-XO1 #9282249

NTT-AT ATP3000-XO1은 반도체 및 MEMS 장치 제조를위한 웨이퍼의 훌륭한 기계적 평면 화를 제공하는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 4 ~ 6 인치 또는 8 인치 웨이퍼를 수용하도록 설계되었으며, 특허를받은 이중 축, 선형 모터 구동 장치를 사용하여 서브 미크론 정확성과 반복 성을 제공합니다. 통합 CNC 컨트롤러는 기계를 구동하며, 피드 레이트 (feed rate), 스핀들 속도 (spindle speed), 압력 (pressure) 과 같은 매개변수를 프로그래밍할 수 있는 모든 기능을 갖춘 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 공구의 자동 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 요소가 자동으로 조정되어 이송 속도, 속도, 압력의 가장 좋은 조합을 선택하여 최종 웨이퍼의 서피스 품질과 정확도를 균일하게 보장합니다. 에셋은 고정 및 서보 제어 그라인딩 및 랩핑 플레이트를 모두 사용하도록 설계되었습니다. 고정판 (fixed plate) 에는 일관된 물리적 속성을 가진 고정 디자인이 있으며, 서보 제어 플레이트는 소프트웨어를 사용하여 조정하여 원하는 그라인딩 패턴을 만들 수 있습니다. 최첨단 모터 컨트롤과 결합된이 모델의 강력한 드라이브 및 제어 시스템 (최첨단 모터 컨트롤) 은 웨이퍼를 손상시키지 않는 최적의 그라인딩 및 연마 프로세스를 보장합니다. 주요 연삭 및 연마 장비 외에도 ATP3000-XO1에는 통합 Wafer Deburring System도 있습니다. 이 분해 장치 (deburring unit) 는 특수 도구와 기술을 사용하여 손상이나 오염을 일으키지 않고 웨이퍼의 고르지 않은 서피스를 효과적으로 매끄럽게 만듭니다. 통합 CNC 제어 데버링 머신 (Deburring Machine) 은 내장 공구 체인저를 갖추고 있으므로 다양한 유형의 디버링 도구를 신속하게 교환하여 최적의 효율성을 제공합니다. 모든 스테인레스 스틸 구조로 설계된 NTT-AT ATP3000-XO1은 강력한 운영 환경에서 뛰어난 내구성을 제공합니다. 또한 이 설계는 Cleanroom-Class 6에서 작동하는 EMC 표준에 부합합니다. 또한, 이 툴은 조용하고 에너지 효율적이며, 프로세스 성능을 저하시키지 않고 TCO (총 소유 비용) 를 절감하도록 설계되었습니다.