판매용 중고 NTS SP510T-AFCLOM #293643167

NTS SP510T-AFCLOM은 다양한 반도체 재료에서 완벽하게 평평한 초소형 표면의 생산을 위해 설계된 업계 최고의 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 직경은 150mm (6 인치) 에서 600mm (24 인치) 까지 처리 할 수 있습니다. 전체 시스템은 공압적으로 작동하며 모듈식 (modular) 설계를 통해 생산 라인에 유연하게 통합 할 수 있습니다. 웨이퍼는 플랫 모듈 식 캐리어 (flat modular carrier) 사이에서 지원되며, 이는 다양한 웨이퍼 모양, 두께 및 크기를 수용하도록 재 프로그래밍 될 수 있습니다. "와퍼 '는 회전 하는" 스핀들' 위 에 놓이는데, 장착 된 반송파 는 연삭 과정 중 에 "디스크 '표면 의 단편화 를 피하기 위하여 각" 디스크' 를 고정 된 위치 로 유지 한다. 상단 및 하단 휠은 웨이퍼를 잡고 2 개의 정밀 가공 및 정렬 된 동심 원을 통해 구동합니다. 휠 압력은 0.03 MPa (4.3psi) 에서 0.15 MPa (21.8psi) 로 조정할 수 있습니다. SP510T-AFCLOM에는 측면 (lateral) 또는 수직 (vertical) 절삭 블레이드도 있습니다. 이 블레이드는 불완전성을 제거하거나 표면의 고르지 않은 부분을 제거하는 데 사용할 수 있습니다. "웨이퍼 '의 가장자리 에서 재료 를 제어 하는 것 은 조정 가능 한 반송파" 스핀' 속도 와 연마제 "피드 '속도 로 이루어진다. 이 장치는 플랫 랩핑, 미세 랩핑, 연마 및 1 단계 응용 프로그램 연마 등 다양한 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 지원합니다. 연삭 속도는 0.01 pm/min의 증가로 제어 할 수 있으며 연마력은 0.03 MPa (4.3psi) 에서 0.15 MPa (21.8psi) 로 조정 할 수 있습니다. 광범위한 연마 성 리모버 (remover) 재료를 사용할 수 있으며, 다양한 곡물과 그릿 레벨을 사용할 수 있습니다. 또한 SP510T-AFCLOM은 각각 최대 10 단계로 최대 9 개의 프로그램을 절약하여 생산 효율성과 유연성을 제공합니다. 이것은 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스가 있는 터치 스크린 디스플레이 (Touch Screen Display) 를 통한 설정 절차에 의해 달성됩니다. 마지막으로, 원격 작업을 위해 PC와 데이터를 교환할 수 있습니다. NTS SP510T-AFCLOMwafer 연삭, 랩핑 및 연마 도구는 오늘날 시장에서 가장 발전된 제품 중 하나입니다. 반도체 재료에 대한 정확한 표면 마무리 (surface finishing) 를 요구하는 응용 분야에 이상적이며, 평평하고 효율적인 평면 초소형 표면을 생산할 수 있습니다.