판매용 중고 NTS SL510T-AFCLOM #293643166

NTS SL510T-AFCLOM은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를 위해 특별히 설계된 특수 장비입니다. 직경 25mm ~ 150mm 범위의 다양한 웨이퍼를 만들 수있는 자동 공정 제어 머신입니다. 이 "시스템 '에는 진공처리소 와" 와퍼' 기판 을 안전 하게 잡기 위한 자동식 "척 '이 갖추어져 있다. 웨이퍼 기판에 대한 자동 로드 메커니즘이 있습니다. 이 장치에는 거친 그라인딩을위한 그라인딩 스테이션 (grinding station), 미세한 그라인딩을위한 랩핑 스테이션 (lapping station) 및 연마 용 연마 스테이션 (polishing station) 도 있습니다. 그라인딩 스테이션에는 수평 및 수직 조정 가능한 척이 장착되어 있습니다. 다양한 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 그라인딩 스테이션은 다이아몬드 스터드 그라인딩 디스크를 사용하여 웨이퍼에서 재료를 제거합니다. "그라인딩 '" 디스크' 를 조정 하여 "웨이퍼 '의 양면 을 동시 에 갈게 할 수 있다. 랩핑 스테이션에는 웨이퍼 기판의 균일 한 랩핑을 보장하기 위해 리토 랩핑 플레이트 (litho lapping plate) 와 고정밀 인덱싱 머신 (high-precision indexing machine) 이 장착되어 있습니다. 단면 및 양면 랩핑을 모두 처리 할 수 있습니다. 랩핑 플레이트에는 교환 가능한 커팅 인서트 (interchangable cutting insert) 가 장착되어 있어 원하는 랩핑 마무리를 달성하는 데 사용됩니다. 연마 스테이션에는 연마 테이블과 원자 연마 미디어가 장착되어 있습니다. 웨이퍼의 양면을 동시에 갈고 연마 할 수 있습니다. 단면 및 양면 연마 프로세스를 모두 처리 할 수 있습니다. 연마 매체는 웨이퍼의 균일 한 연마를 보장하기 위해 원자 화됩니다. 이 도구에는 또한 속도, 시간, 압력 등의 프로세스 매개변수를 조정하기 위한 고급 제어 에셋 (advanced control asset) 이 포함되어 있습니다. 따라서 일관되고 재현 가능한 프로세스가 보장됩니다. 모든 매개변수는 자동으로 모니터링되고 기록되며, 필요한 경우 모델에서 읽어들일 수 있습니다. SL510T-AFCLOM은 전자 응용 프로그램을위한 웨이퍼 기판을 만드는 강력한 다용도 기계입니다. 정밀성 (Precision) 과 반복성 (Repeatability) 에 맞게 최적화되었으며, 연산자의 개입을 최소화하면서 처리량을 높일 수 있습니다. 컴팩트 한 설계는 작은 영역에 맞출 수 있으며, 장비는 대용량 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 요구 사항을위한 완벽한 솔루션을 제공합니다.