판매용 중고 NTS S610T-AFCLOM #9248793

NTS S610T-AFCLOM (Automatic Flat Control Lapping and Polishing Machine의 약자) 은 실리콘, 게르마늄 및 기타 재료의 기판을 연마하여 균일성과 반복성이 높은 매우 단단한 내성을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 직경이 50 mm ~ 300 mm, 두께가 최대 3.5 mm 인 웨이퍼를 준비 할 수 있습니다. S610T-AFCLOM은보다 정확하고, 일관성 있고, 반복 가능한 연마를 위해 고급 연마 기술 및 프로세스 제어 장치를 사용합니다. 이 기계는 6축 (6축) 로봇 서버로 구성되어 있어 랩 플레이트 위에 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 로봇은 또한 자동 카세트-카세트 프로세스 실행에서 한 번에 최대 10 개의 웨이퍼를 무인 작동시킬 수 있습니다. 로봇 암은 다양한 고정장치 사양을 수용하기 위해 쉽게 위치 조정 할 수 있습니다. 그런 다음, 웨이퍼는 고정장치에 의해 단단히 고정되고, 6 축 동작은 원하는 압력의 양을 적용하는 데 사용됩니다. 기계에는 빠른 속도로 회전하고 연마제 (abrasive grits) 와 슬러리 (slurry) 의 조합을 사용하여 재료를 제거하고 원하는 연마 마무리를 달성하는 2 개의 랩 플레이트가 장착되어 있습니다. 각 랩 플레이트에는 하중, 속도, 압력과 같은 주요 연마 매개변수를 모니터링하는 닫힌 루프 머신 (closed-loop machine) 이 포함됩니다. 이러한 매개변수를 조정하여 프로세스를 정확하게 제어하고 각 웨이퍼 (wafer) 에 대해 원하는 서피스 마무리 (surface finish) 를 달성할 수 있습니다. NTS S610T-AFCLOM은 청결과 안전을 위해 설계되었습니다. 압축판 (compression plate) 은 외부 입자에서 잠재적 오염을 제거하며 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 도구는 기계를 정확하고 안전하게 실행합니다. 에셋은 저소음, 완전용접 안전 캐비닛 (Safety Door), 주변 안전 표시등 그리드 (Periment Safety Light Grid) 및 비상 정지 버튼 (Emergency Stop 버튼) 으로 둘러싸여 추가 보호 기능을 제공합니다. 결론적으로, S610T-AFCLOM은 업계에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 모델입니다. 이 장비는 고정밀도, 반복성, 유연성을 제공하여 고품질, 고관용 웨이퍼를 자동으로 생산할 수 있습니다. 폐쇄 루프 피드백 시스템, 안전 기능, 청결 함으로 인해 안정적이고, 안전하며, 오염이 없어도 계속 실행됩니다.