판매용 중고 NTS NSL-2020 #293765738

ID: 293765738
Lapping machine Lapping plate: Φ510×Φ180 (IDxOD) Ring size: Φ200xΦ162 Lapping plate: 20-150 RPM Motor drive power: 2.2 kW, 220 V, 3 Phase Water cooling temperature Accessories: Dust cover Duct hood system Precision variable multi-step pressure mechanism Standard plate facing Grooving system Wafer thickness eccentricity prevention function: 2 µm (2) Holder pneumatic pressures Vacuum chuck type (2) Holder motor drive systems Oscillation system Control: PLC and programming touch screen (HMI) Consumables: Copper: 20" x 1/2" Ceramic conditioning ring NCR-103 for 20" Diamond slurry roller pump drop system Auto-stirrer (2) Slurry tubes: 15 m Facing bite radius: 60 x 0.3 Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
NTS NSL-2020은 모든 재료에서 웨이퍼를 대량 또는 저량 생산하는 데 이상적인 혁신적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 매우 얇고 (5äm 낮음) 고품질 표면 마감을 제공합니다. NSL-2020은 스핀들 속도 및 가공소재 위치를 자동으로 제어하기 위해 2축 NC (수치 제어) 를 제공하여 높은 정확도와 반복 성을 제공합니다. 이것은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 등과 관련하여 높은 수준의 유연성과 비용 절감 효과를 제공합니다. NTS NSL-2020 에는 냉각수 저수지 (coolant reservoir) 와 필터 장치 (filter unit) 가 장착되어 있어 웨이퍼를 효율적으로 냉각시켜 열 충격으로부터 보호하고 수명을 보장할 수 있습니다. 또한 일관되고 제어 가능한 연삭 및 연마 과정을 허용합니다. 냉각제 저수지 와 "필터 '기계 는 또한 연마 및 연마 하는" 구성 요소' 들 을 공기 중 의 연마 먼지 및 기타 오염 물질 로부터 보호 하는 데 도움 이 된다. NSL-2020은 또한 연삭 공정과 동일한 속도로 연삭, 랩핑 및 연마를위한 연마 화합물을 공급하는 인라인 (in-line) 연마 화합물 피더 (feeder) 를 갖추고 있으며, 여러 웨이퍼에서 일관된 마무리를 보장합니다. 또한 이 인라인 급지대를 사용하면 전체 프로세스의 총 주기 시간을 줄일 수 있습니다. NTS NSL-2020에는 고해상도 CCD 카메라가 있어 미세한 결함을 쉽고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이것은 연삭, 랩핑 및 연마 과정에서 고도의 품질 제어를 보장하는 데 도움이됩니다. 기계의 웨이퍼 및 유지 보수에 대한 손상을 방지하기 위해 NSL-2020 (NSL-2020) 에는 웨어 모니터링 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산은 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 부품의 마모를 주기적으로 점검하고 이 데이터를 PC에 자동으로 다운로드합니다. NTS NSL-2020에는 실시간 프로세스 모니터링 및 제어가 가능한 PLC 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 또한 이 컨트롤러를 사용하면 웨이퍼의 특정 요구 사항에 따라 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 다듬기 (polishing) 프로파일을 수정하고 사용자 정의할 수 있습니다. 이러한 모든 기능은 높은 정밀도 및 정확도와 결합하여 NSL-2020 (NSL-2020) 을 모든 재료에서 웨이퍼의 대량 생산 및/또는 저량 생산에 이상적인 솔루션으로 만듭니다. 또한 최소한의 결함과 고도의 균일성으로 일관되게 높은 품질의 웨이퍼 (wafer) 를 보장합니다.
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