판매용 중고 NTS NML-3020 #9364614

NTS NML-3020
ID: 9364614
웨이퍼 크기: 2"-6"
Lapping machine, 2"-6".
NTS NML-3020 Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 사용 가능한 가장 고급 시스템 중 하나입니다. 이 "시스템 '은 반도체" 웨이퍼' 의 평면 과 곡면 을 정밀 하게 연마 하도록 설계 되었다. NML-3020에는 웨이퍼 뒷면 랩핑을위한 120mm 정밀 랩핑 플레이트 (lapping plate) 와 웨이퍼의 뒷면, 가장자리 라운드 및 노치 영역을 연마하기위한 다이아몬드 디스크 휠 (diamond disc wheel) 이 장착되어 있습니다. NTS NML-3020 장치에는 2 개의 수직 스핀들 (100mm) 과 1 개의 수평 스핀들 (50mm) 이 장착되어 있어 다방향 연삭 및 연마가 가능합니다. 그라인딩 스핀들 (grinding spindles) 은 브러시리스 (brushless) 서보 모터로 구동되어 빠르고 정밀한 위치를 지정하며, 두 개의 그라인딩 휠은 특성과 크기가 다릅니다. 메인 랩핑 휠 (Diamond Disc Wheel) 은 다이아몬드, 알루미나, 산화 실리콘 및 다결정 다이아몬드 (PCD) 와 같은 광범위한 연마재가있는 연마 다이아몬드 링으로 구성됩니다. 연삭 힘은 압력 트랜스듀서 (pressure transducer) 에 의해 제어되어 연삭 휠의 편향을 자동 조정하고 스텝 오버를 방지합니다. 웨이퍼 디스크 휠 (wafer disc wheel) 은 기계의 메인 랩핑 휠 (main lapping wheel) 에 적재되며 정확하고 반복 가능한 그라인딩 및 랩핑을 위해 특정 압력으로 설정 할 수 있습니다. NML-3020에는 웨이퍼 모서리 및 노치 영역의 균일 한 연마를위한 2 개의 가스 아토마이저 (Gas Atomizer) 와 회전 속도 선택기 (Rotational speed selector) 상자가 장착되어 있습니다. 연마 과정을 모니터링하기 위해 실시간 비디오 피드를 사용할 수 있습니다. 기계에는 모든 연마 좌표를 저장하고 향후 프로세스에 대한 참조로 삼기 위해 워퍼맵 (wafermap) 소프트웨어 프로그램이 장착되어 있습니다. NTS NML-3020 은 다양한 안전 장치와 대책으로 설계되어 최고의 품질의 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기능을 제공합니다. 이 도구에는 진동 센서, 온도 및 압력 모니터, 누출 탐지기, 먼지 처리 에셋이 장착되어 있습니다. NML-3020 모델은 유전체 에칭, 장벽 에칭, 금속화, 화학/기계 연마, 백 그라인딩 및 연마, 적용 범위 에칭과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 장비는 신뢰할 수있는 연마 속도와 높은 수익률을 모두 위해 최적의 결과를 제공하도록 설계되었습니다.
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