판매용 중고 NTS 36G DMP SL910-AFCL #9268069
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NTS 36G DMP SL910-AFCL은 NTS Japan이 고품질 웨이퍼를 처리하기 위해 설계 한 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 36 인치 직경 웨이퍼 그라인딩 휠 (wafer grinding wheel) 과 8.5 인치 직경 랩핑 및 연마 휠 (papping and polishing wheel) 로 구성되어 있으며 동시에 회전하고 서로 접해 있습니다. 그라인딩 휠은 AC 모터에 의해 구동되며 랩핑 및 광택 휠은 브러시리스 (brushless) DC 모터에 의해 구동됩니다. 그라인딩 휠은 다이아몬드 그레인 (diamond grain) 과 폴리 우레탄 엘라스토머 (polyurethane elastomer) 의 조합을 사용하여 3500 rpm의 속도로 웨이퍼를 정확하게 갈아 넣을 수 있습니다. 컨베이어 벨트 (Conveyer Belt) 배열은 와퍼를 부드럽게 로드하고 기계로 언로드합니다. 2 륜 단위는 웨이퍼 표면에 최소한의 손상으로 훨씬 더 복잡한 형상을 연마합니다. "랩핑 '과 연마" 휠' 은 연마 하는 데 고무 "본드 '와 함께" 다이아몬드' 곡물 의 조합 을 사용 한다. 연삭 공정이 완료되면, 랩핑 및 연마 휠은 6000 rpm의 속도로 회전합니다. 이렇게 하면 그라인딩 후 남은 서피스 잔해가 제거되고 투명도가 있는 매끄럽고 광택 있는 마무리 (glossy finish) 가 생성됩니다. 이 바퀴는 최소 랩 길이를 가지며, 이는 연마 과정에서 발생하는 손실을 줄입니다. 프로세서는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 크기에 따라 조정할 수있는 가변 출력을 갖춘 6 개의 RF 머신을 갖추고 있습니다. 기계는 또한 조정 가능한 속도와 각도를 가진 진공 턴테이블로 구성됩니다. 이것은 매우 큰 웨이퍼에서도 뛰어난 표면 마무리를 보장합니다. 전체적으로 36G DMP SL910-AFCL은 디지털 디스플레이와 같은 사용자 친화적 인 기능을 통해 반자동 작동을 제공하는 고급 도구입니다. 통합 자산과 효율적인 전력 출력은 웨이퍼의 정확한 연삭, 랩, 연마를 보장하며, 이는 최고 품질의 결과를 달성하는 데 도움이됩니다.
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