판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9300859

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 (AG-676) 은 반도체 웨이퍼의 정밀 머시닝을 위해 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 마이크론 수준의 정확성과 반복 성을 달성 할 수있는 하이테크 장치입니다. AG-676 (AG-676) 은 작업물 취급을위한 강력한 로봇암 (robot arm) 과 피드백 제어 (feedback control) 및 자동 결함 감지를 위한 비전 기반 시스템 (vision-based system) 을 포함한 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 서로 다른 웨이퍼 (wafer) 처리 요구사항을 수용하도록 설계된, 일련의 교환 가능한 그라인딩 디스크 어셈블리가있는 서보 제어 그라인딩 헤드가 제공됩니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 는 그라인딩 디스크를 빠른 속도로 진동시키고 회전 각도를 정확하게 조정하여 높은 수준의 프로세스 정확도 (process accuracy) 와 반복성 (repeatability) 을 제공합니다. 또한, 헤드는 프로세스 중단을 최소화하고 프로세스의 톱블레이드 (Sawblade) 와 그라인딩 (Grinding) 단계 간에 빠른 전환을 가능하게 하기 위해 그라인딩 디스크를 빠르게 변경할 수 있도록 지원합니다. AG-676 에는 통합 진공 멀티 슬롯 (vacuum multi-slot) 연마 테이블이 장착되어 있어 다양한 다이 크기에 대해 빠르고 일관된 작동이 가능합니다. 이 장치는 또한 후크 (Hook) 및 루프 (Loop) 또는 자기 장착 광택 패드의 작동을 지원할 수 있습니다. 또한, AG-676 (AG-676) 은 연마에서 연마 헤드로 웨이퍼를 운송하기위한 고속 로봇 암을 갖추고 있습니다. "로봇 '암 은 높은 속도 로 진동 하여 가공물 을 안전 하고 정확 하게 움직 일 수 있으며, 입자 오염 을 일으키지 않고 수송 을 위한 최적 의" 메커니즘' 을 보장 해 준다. 이것은 또한 주기 시간을 크게 줄이고 기계의 처리량을 향상시킵니다. 또한 AG-676 (옵션 비전 도구) 은 비전 (vision) 도구 (optional vision tool) 를 제공하여 프로세스 전과 도중에 웨이퍼를 자동으로 감지 및 검사할 수 있습니다. "웨이퍼 '의" 이미지' 를 빠른 속도 로 캡처 하고, "이미지 '들 을 정해진 기준 과 비교 하여 결함 을 신속 하고 정확 하게 감지 할 수 있는" 장애 안전' 모델 을 제공 할 수 있다. AG-676 은 탁월한 가치를 제공하며, 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 작업을 관리하기 위한 효과적이고 안정적인 솔루션입니다. 또한, 이 장비는 일반적으로 사용되는 모든 유형의 반도체 웨이퍼 (wafer) 모양을 수용할 수 있으며, 사용자가 처리량을 향상시키고 비용을 절감하는 매우 효율적이고 효과적인 장치입니다.