판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9299972

ID: 9299972
CMP Polisher.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676은 반도체 웨이퍼의 연삭, 랩 및 연마를 위해 특별히 설계된 컴퓨터 제어 장비입니다. 이 시스템은 단일 패스 (single pass) 에서 웨이퍼 (wafer) 표면에서 3 미크론 (micron) 까지 제거 할 수 있으며 다양한 원하는 결과를 얻을 수있는 가변 압력 및 속도 설정을 제공합니다. IPEC Avantgaard 676은 표준 및 맞춤형 그라인딩 휠, 랩핑 및 연마 도구를 선택하여 연삭, 랩핑 및 연마 공정의 정밀도를 높입니다. WESTECH Avantgaard 676은 구성 가능한 모듈식 디자인을 제공합니다. 사용자는 자동 샘플 로드/언로드 시스템과 함께 원하는 압력/속도 수준, 다양한 로터리/툴링 옵션을 선택할 수 있습니다. SPEEDFAM Avantgaard 676은 직경 150mm의 웨이퍼를 위해 특별히 설계되었으며, 실리콘 및 실리콘 기반 재료를 포함한 다양한 웨이퍼 기판을위한 기능을 갖추고 있습니다. 사용자에게 친숙한 HMI (human-machine interface) 디스플레이와 프로세스 매개변수 제어를 위한 자동 기능이 장착되어 있습니다. 또한 NOVELLUS Avantgaard 676은 센서를 사용하여 현재 성능을 모니터링하고 관리합니다. 기계는 다양한 그라인딩, 랩핑 및 연마 프로세스를 수행하기 위해 사전 프로그래밍되며 최대 100 개의 사용자 정의 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼의 안전성과 무결성을 보장하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능을 제공합니다. Avantgaard 676은 3 상 220V 60Hz AC 모터로 구동되며 작동 속도에 도달하는 데 5 분 밖에 걸리지 않습니다. 또한 표준 웨이퍼 그리퍼 (wafer griper) 는 시간이 지남에 따라 샘플 크기가 바뀌는 경우에도 안전하고 안정적인 샘플 마운팅을 제공합니다. 이렇게 하면 모든 배치 (batch) 실행에 대해 정확한 샘플 정렬을 보장하면서 설정 시간을 최소화할 수 있습니다. NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676은 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 이상적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 기계는 정밀도, 속도 및 수명을 제공하여 웨이퍼 준비의 최고 품질 결과를 보장합니다. 사용자 친화적 인 HMI 디스플레이, 자동 기능 및 프로그래밍 가능한 레시피를 갖춘 IPEC Avantgaard 676은 사용자에게 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스의 유연성, 정확성 및 반복성을 향상시킵니다.
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