판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9276834
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ID: 9276834
CMP System, parts machine
With MP400 Polisher
Interconnecting cables
Throughput: >40 Wafers/hr
Fully automated cassette to cassette (C2C)
(4) Wafer planarizers
Endpoint detection
Dual pad conditioning
Electrical cabinet
Spray box assembly
Automated wafer handling robot
Wet cassette assembly
Dual cassette basin
System Control (SysCon)
Control station
Head assembly
Internal bearings
Polish dynamics
Polish pad
Endpoint detection system
Manual
Includes:
Main polishing unit
Chase control panel
GENMARK Gencobot 3L / 4 Robot with end-effector
(25) M-825 Wafer address sensors
Chemicals:
Hydrogen peroxide concentration: 7.4% to 50%
W2000 Semi-sperse: DI Water and proprietary metal oxide
Power supply: 120/208 VAC WYE, 3 Phase, 60 Hz, 60 A.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 (process) 를 정확하게 제어하여 최고 품질의 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 아방가르드 676 (Avantgard 676) 에는 고출력 다이아몬드 그라인딩 헤드 (diamond grinding head) 가 장착되어 있으며, 반도체 웨이퍼의 표면을 갈아 내리는 데 사용됩니다. 이 머리는 0.4 미크론 미만의 곡물 크기를 달성 할 수 있습니다. 아반트가르트 676 (Avantgard 676) 에는 가변 속도 120 rpm의 랩핑 유닛이 장착되어 있으며, 이는 웨이퍼를 매끄럽고 짝수 표면으로 연마하는 데 사용됩니다. 이 랩핑 머신에는 0.6 나노미터 미만의 표면 거칠기를 달성 할 수있는 헤드가 있습니다. Avantgard 676에는 강력한 4 점 서보 제어 연마 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 특허를받은 "서보 연마 (servo-polishing)" 기술을 사용하여 운영자에게 연마 과정을 크게 제어합니다. 아방가르드 676 (Avantgard 676) 은 또한 고급 IPEC 청소 모델을 특징으로하며, 가압 질소 제트를 사용하여 연삭 및 랩핑 공정 후 웨이퍼 표면에 남아있는 미세한 입자를 제거한다. 이 기술은 웨이퍼 표면이 가능한 한 깨끗하고 오염이 없도록 합니다. 또한 Avantgard 676은 사용자 친화적이며 매우 효율적입니다. 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 는 장비 제어에 쉽게 액세스할 수 있고 특정 응용 프로그램에 대한 사전 설정 (Preset) 프로그램을 제공하는 터치 감지 디스플레이를 특징으로합니다. 또한 진단 프로그램 (Diagnostics System) 이 내장되어 있어 인력이 발생하는 경우 문제를 인식하고 경고할 수 있습니다. 이 기계는 또한 종합적인 모니터링 (monitoring) 및 경보 장치 (alert unit) 를 갖추고 있어 가동 중지 시간을 줄이고 연삭, 랩 처리, 연마 프로세스가 원활하게 실행되도록 보장합니다. 전반적으로, IPEC Avantgaard 676은 운영자가 빠르고 정확하게 갈기, 랩 및 폴란드 반도체 웨이퍼를 할 수있는 고급 기계입니다. 이 도구는 강력한 다이아몬드 그라인딩 헤드 (diamond grinding head), 래핑 에셋 (lapping asset) 및 연마 모델 (polishing model) 을 특징으로합니다. 또한 편리하고 편리한 사용자 인터페이스와 모니터링 시스템 (모니터링 시스템) 을 통해 다운타임을 줄이고 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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