판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #293635157
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NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676은 반도체 웨이퍼에서 복잡하고 정확한 모양을 생산하도록 설계된 첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 6축, 고성능 컨트롤을 갖춘 그라인딩 장치 (grinding unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 고급 드라이브 유닛과 소프트웨어를 결합하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 특허받은 힘 제어 (force control) 기술을 사용하여 연삭 힘을 최소화하여 칩 손상 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. IPEC Avantgaard 676에는 메인 그라인딩 및 컨디셔닝 장치에 대한 손쉬운 액세스, 조정 가능한 공정 속도 선택, 조정 가능한 압력 설정, 마모를 줄이기위한 자동 '스톱 고 (stop-go)' 기술 등 작업을 단순화하는 몇 가지 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 또한이 도구에는 풀 에셋 그라인딩 (full-asset grinding) 에서 미세 튜닝 (fine tuning) 에 이르기까지 6 가지 그라인딩 모드가 포함되어 있으며 각 프로세스의 요구에 맞게 조정됩니다. 연삭 매개변수를 자체 조정하는 기능은 프로세스 개발 (process development), 프로세스 적응 (process adaptation) 또는 컴포넌트 생성 (component production) 에 관계없이 원하는 결과가 달성되도록 합니다. Control Computer 는 모든 작업 매개변수를 모니터링, 기록, 저장하며, 제조 프로세스를 단순화하기 위한 상세한 입출력 데이터 세트를 제공합니다. WESTECH Avantgaard 676에는 이더넷 라이트 커튼, 견고한 기계 구조, 비상 정지 장치 등의 안전 기능도 있습니다. 이 모델에는 2 세트의 척과 3 세트의 서보 구동 클램프가 있으며, 모두 균일 한 재료 제거 및 연마가 보장됩니다. 그라인딩 장치에는 프로그래밍 가능한 그라인딩 경로, 압력 제어 설정, 재료 제거 프로세스를 단순화하는 자동 작업 (automated operation) 이 있습니다. 이동식 스핀들을 사용하면 간단하고 쉬운 비트 변경이 가능합니다. NOVELLUS Avantgaard 676은 다른 대부분의 그라인더보다 작동 온도가 높아서 칩 제거가 개선되었습니다. 첨단 여과 장비 (Advanced Filtration Equipment) 는 연삭 매체 및 공기 입자가 공정에서 효과적으로 제거되도록 보장합니다. 이렇게 하면 연삭 과정 중 에 "칩 '과 기타 부품 들 이 손상 될 가능성 이 줄어든다. Avantgaard 676은 또한 다이아몬드, 세라믹, 미네랄 기반 그라인딩 미디어 등 다양한 어플리케이션 요구 사항에 대해 미디어 연삭 옵션을 제공합니다. 또한 대형 웨이퍼 용량으로 처리량이 많아지고 가동 중지 시간이 줄어듭니다. 마지막으로, 시스템은 여러 제품군을 수용할 수 있도록 맞춤형 구성이 가능하며, 고급 반도체 제조 공정을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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