판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #293622358

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676은 반도체 웨이퍼의 연삭, 랩 및 연마에 사용되는 고도의 산업 장비입니다. 가장 어려운 재료에서 뛰어난 양면 기하학적 정밀도 및 낮은 잔류 표면 결함을 위해 센서 제어 (sensor-controlled) 최대 정확도를 달성하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 6 축 로봇 암 (robotic arm) 을 기반으로하며, 이 바디에 연결되어 스핀들과 바디 사이에 웨이퍼 교환을 허용합니다. 이 기계는 여러 개의 스핀들 (spindle) 을 지원할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 수용하도록 설계되었습니다. 각 스핀들 (spindle) 은 독립적으로 실행되므로 사용 가능한 공간을 효율적으로 사용할 수 있습니다. 기계는 고속 서보 모터 드라이브 (servo motor drive) 를 사용하여 스핀들의 속도와 위치를 제어합니다. 스핀들은 4 축 회전 테이블에 부착되어 있으며, 시계 방향 및 시계 반대 방향 모두에서 최대 3600 rpm까지 회전 할 수 있습니다. 이를 통해 완벽한 각도와 연삭 속도를 달성 할 수 있습니다. IPEC Avantgaard 676에는 특허를받은 열 전도 헤드 (head-conducting head) 가 장착되어 있으며, 이 헤드는 웨이퍼의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '를 가로지르는 균일 한 냉각 을 가능 하게 한다. 이 기계는 또한 연삭 먼지 (grinding dust) 를 최소화하는 효율적인 먼지 추출 (dust extraction) 도구를 사용하여 작업 환경을 안전하게 유지하고 공수 입자가 없도록 도와줍니다. 또한, 자산에는 자체 검사 카메라가 함께 제공되어 결과의 품질을 검사 할 수 있습니다 (예: "CCTV"). 최상의 결과를 얻기 위해, 모델에는 고정밀도 스타일러스 프로브 (stylus probe) 가 장착되어 있으며, 이는 웨이퍼 거칠기를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 고속 절삭, 정확한 온도 조절, 완벽한 연삭 각도 및 최고 품질의 보증의 조합으로 WESTECH Avantgaard 676은 반도체 웨이퍼의 연삭, 랩핑 및 연마를위한 완벽한 선택입니다.