판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9212984

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 반도체 및 전자 산업의 표면 준비를위한 매우 다재다능하고 기술적으로 향상된 시스템입니다. PAD, ARX 및 BOPP와 같은 다양한 응용 프로그램 별 웨이퍼에서 Rmax/Rz-8.0õm의 표면 마감으로 직경 12 인치까지 분쇄하고 연마 할 수있는 독립형 유닛입니다. 이 장치는 최대 150mm/sec 속도의 연삭, 랩, 연마 기능을 제공하며 고성능 기능과 정확성으로 인해 300mm 웨이퍼에 사용하는 것이 좋습니다. IPEC 676은 최신 연마 기술을 사용하여 수많은 기능과 기능을 제공합니다. 한 번에 2 개의 웨이퍼를 동시에 연마, 랩, 연마 할 수있는 견고한 듀얼 스핀들 디자인이 특징입니다. 매우 단단한 XY (XY) 단계는 웨이퍼의 정확하고 정확한 움직임을 보장하며, 민감한 Z (Z) 단계는 다양한 웨이퍼에서 더 미세한 표면 평면 화를 허용합니다. 연삭/랩핑/연마 테이블은 오염 및 워핑에 강한 BLC-40 에폭시 수지 (epoxy resin base) 로 만들어졌으며, 전체 웨이퍼 전체에서 동등한 연삭 및 연마 압력을 보장하는 특허를받은 스트레이트 에지 홀더 머신 (straight edge holder machine) 도 포함되어 있습니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 운영자는 시스템을 정확하게 프로그래밍하고 웨이퍼 성능을 모니터링할 수 있습니다. WESTECH 676은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 외에도 RIE, DRIE 및 에칭 프로세스가 가능합니다. 여기에는 작동 장치 및 웨이퍼의 안전을 보장하기 위해 내장형 음향 모니터 (Embedded Acoustic Monitor), 바인딩 방지 센서 (Anti-Binding Sensor) 및 먼지 관리 시스템 (Dust Management System) 과 같은 모든 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 모니터링 작업, 진단, 문서 등 다양한 기능을 사용할 수 있는 PC 제어 기능도 포함되어 있습니다. SPEEDFAM 676 (SPEEDFAM 676) 은 매우 안정적이고 효율적인 자산으로, 다양한 웨이퍼 표면 준비 어플리케이션에 적합합니다.