판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9091546

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676은 생산 등급, 다중 구성 요소 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 반도체 제조 및 재료 개발 응용 분야를위한 뛰어난 밀링 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 크기와 모양이 다른 웨이퍼 (wafer) 에 대한 다양한 연삭, 랩핑, 연마 작업을 수행하여 엄격한 프로세스 제어 및 높은 수율을 달성하도록 설계되었습니다. IPEC 676은 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 첫 번째는 연삭 및 랩핑 작업이있는 동봉 된 작업 실입니다. 실내에는 작업 테이블 (work table) 에 최대 40 개의 웨이퍼가 있으며, 작업 구역은 통합 먼지 수집 장치 (integrated dust collection unit) 에 의해 깨끗하게 유지됩니다. 공구 헤드는 높은 정밀도 그라인딩 휠 (grinding wheels) 과 연마 패드 (polishing pad) 를 사용하여 웨이퍼를 갈아서 랩하기 위해 테이블 주위를 이동합니다. 또한, 작은 웨이퍼와 큰 웨이퍼에 대한 최대 정밀도, 균일 한 그라인딩 및 랩핑 연산을 보장하도록 테이블을 조정할 수 있습니다. 두 번째 구성 요소는 공구 헤드의 이동 및 압력 설정을 모니터링, 제어, 조정할 수 있는 고급 (Advanced) 프로그래밍 및 자동화 기능을 제공하는 통합 제어 머신 (Integrated Control Machine) 입니다. 이 툴은 데이터 입력 및 검토, 사용자 지정 기능이 뛰어난 데이터 관리, 성능 최적화 알고리즘을 위한 GUI (그래픽 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. WESTECH 676 은 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있는 완전 자동화 자산입니다. 통합 컴포넌트 (integrated component) 로 인해 탁월한 정밀도와 품질을 제공하며, 고급 자동화 기능을 통해 연산자가 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 사용자 지정 기능이 뛰어난 데이터 관리 (data management) 및 성능 최적화 (performance optimization) 알고리즘을 통해 프로세스 상태를 신속하게 테스트하고 식별하고 테스트 결과를 명확하고 간편하게 분석할 수 있습니다. SPEEDFAM 676 (SPEEDFAM 676) 은 반도체 및 재료 산업의 대형 또는 소형 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.