판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293830228

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 장비는 고급 얇은 웨이퍼 처리를 위해 설계된 견고한 다단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 최대 6 인치 직경의 기판에 신뢰할 수 있고 정밀도가 높은 그라인드, 랩핑 및 광택을 제공하며 1,200 ~ 4,000 RPM의 적응 속도 범위를 제공합니다. 이 시스템은 운전 메커니즘, 랩핑 헤드, 연마 헤드 (polishing head) 가있는 기본 장치로 구성됩니다. 웨이퍼 로드/언로드를위한 여러 팔; 다양한 액세서리 구성 요소. 랩핑 헤드와 2 개의 연마 헤드는 기판 처리에 필요한 플랫폼을 제공합니다. 랩핑 헤드에는 불투명 한 진공 벨로우 (vacuum bellow) 장치가 포함되어 있으며, 슬러리 드롭릿이 웨이퍼에 퇴적되거나 진공 벨로우 (vacuum bellow) 내에 갇히지 않습니다. 조정 가능한 속도 범위 (1,200 ~ 4,000 RPM) 는 랩핑 및 연마 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 두 개의 연마 헤드는 각 웨이퍼에 최대 200 파운드의 힘을 가할 수 있으며, 처리 중 내구성과 정확성을 제공합니다. 또한, IPEC 676 머신 (IPEC 676 Machine) 에는 소비된 연삭 재료를 수집하기위한 진공 도구와 구성 요소 온도를 제어하기위한 공기 자산이 포함되어 있습니다. 공기 모델은 온도를 110 ° C 미만으로 유지하도록 설계되었으며, 공기 흐름 효율을 극대화하기 위해 순환 공기 부피를 조정할 수 있습니다. 조정 가능한 클램프 (clamps) 를 통해 랩핑 헤드에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 작업을 위해 시스템을 구성할 수도 있습니다. 이 기계는 경커튼, 비상 정지 장치 (Emergency Stop Device), 위험 분석 회로 (Risk Analysis Circuitry) 를 포함한 안전 기능이 잘 갖춰져 있으며, 기계의 안전을 보장하기 위해 잠재적 위험을 지속적으로 평가합니다. WESTECH 676 장비는 정밀 얇은 웨이퍼 처리에 적합하며, 반도체 및 초전도 장치 양산에 적합합니다.