판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293814146

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 다양한 크기의 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 다재다능한 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로 제작 (fabrication of integrated circuit) 과 관련된 모든 프로세스에 대해 비용 효율적인 단일 장치 (single-unit) 플랫폼을 제공하도록 설계되었습니다. IPEC 676은 원하는 표면 마무리를 달성하기 위해 기계 및 화학 공정의 조합을 사용합니다. 이 기계는 생산 주기에 필요한 다양한 도구를 이동하고 배치하도록 설계된 6 축 (6 축) 로봇 암을 갖추고 있습니다. 팔에는 진공 장착 웨이퍼 척과 다양한 공구 스핀들이 포함됩니다. 또한, 통합 된 공압, 가변 단계 제어 및 재순환, 다양한 프로세스 요구 사항에 대한 다양한 표준 액세서리를 갖춘 공정 챔버 (process chamber) 가 있습니다. WESTECH 676에는 기존 랩핑 시스템과 유사한 독특한 컴퓨터 제어 그라인딩 도구가 포함되어 있습니다. "워퍼 '는" 척' 에 놓이고 "로봇 '암 은 그것 들 을 연삭" 휠' 로 옮긴다. "컴퓨터 '는" 그라인딩 휠' 의 속도 와 특수 연마제 를 사용 하여 "웨이퍼 '에 가해지는 압력 을 제어 한다. 연삭 과정 이 끝나면, "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 화학 "랩핑 '과정 으로 옮긴다. 연삭 과정 에서 남아 있는 찌꺼기 나 찌꺼기 를 제거 하는 작용 을 하는 "웨이퍼 '에 화학" 에찬트' 를 도입 한다. 랩핑 프로세스가 완료되면 연마 단계가 시작됩니다. 팔 은 "웨이퍼 '를 연마" 패드' 에 배치 하는데, 그 패드 에는 여러 가지 연마제 가 새겨져 있어 원하는 연마 효과 를 얻는다. 연마 과정 은 "웨이퍼 '표면 을 더욱 정련 시키고" 랩핑' 단계 에서 남아 있는 잔해 를 제거 한다. 연마 과정 이 끝나면, 최종 "린스 '가" 웨이퍼' 표면 에 적용 된다. 이 린스 (Rinse) 는 연마 잔기를 제거하고 깨끗하고 부드러운 표면 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. NOVELLUS 676은 복잡한 집적 회로를 처리하기 위해 매우 다양하고, 효율적이며, 비용 효율적인 플랫폼을 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산은 원하는 표면 마무리를 달성하기 위해 기계적 (mechanical) 과 화학적 (chemical) 기술을 모두 사용하며 실행 중인 특정 집적 회로에 따라 연삭, 랩핑, 연마 등 다양한 프로세스를 지원할 수 있습니다. 견고한 설계 및 품질 구성 요소를 갖춘 676 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델은 반도체 웨이퍼 제작에 효과적인 솔루션입니다.